[发明专利]微粒数检测器

说明书

微粒数检测器10具备：电荷产生元件、捕集装置、以及个数测定装置。电荷产生元件向被导入至通气管12内的气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷，使其成为带电微粒。捕集装置利用通过电场产生部42而产生的电场，将带电微粒捕集于捕集电极48。个数测定装置基于根据捕集电极48所捕集到的带电微粒的数量而发生变化的捕集电极48的物理量，来检测带电微粒的数量。此处，通气管12具备：由陶瓷材料构成的致密质的骨架形成部13(13a～13d)、以及由杨氏模量比陶瓷材料的杨氏模量低的材料构成且与骨架形成部13接触的致密质的应力缓和部14(14a～14d)。

技术领域

本发明涉及微粒数检测器。

背景技术

作为微粒数检测器，已知有如下微粒数检测器，即，电荷产生元件通过电晕放电而产生离子，并将该离子附加给被导入至陶瓷制通气管内的气体中的微粒，捕集电极对已带电的微粒进行捕集，个数测定器基于所捕集到的微粒的电荷量，来测定微粒数(例如参见专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/146456号小册子

发明内容

然而，在使用上述微粒数检测器来测定高温气体中的微粒数的情况下，如果水附着于陶瓷制的通气管，则有可能因热冲击而产生裂纹。裂纹贯穿通气管壁面的情况必然会导致测定精度降低，即便在裂纹没有贯穿通气管壁面的情况下，也可能导致测定精度降低。即，在产生了没有贯穿通气管壁面的裂纹的情况下，通过该裂纹而释放的应力导致：通气管壁面发生变形，设置于壁面的电荷产生元件错位。在发生电晕放电所需要的不均匀电场中，由于电力线的分布集中于端部，所以，轻微的变形就会导致电场分布发生大幅变化。随之导致离子密度的空间分布也发生变化，因此，附着于每个微粒的离子的量偏离设计值，导致测定精度降低。

本发明是为了解决上述课题而实施的，其主要目的在于，防止电荷产生元件错位。

本发明的微粒数检测器具备：

电荷产生元件，该电荷产生元件向被导入至通气管内的气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷，使其成为带电微粒；

带电微粒捕集部，该带电微粒捕集部设置于比所述电荷产生元件更靠向所述气体的气流下游侧的位置，对所述带电微粒进行捕集；以及

个数检测部，该个数检测部基于根据所述带电微粒捕集部所捕集到的所述带电微粒的数量而发生变化的所述带电微粒捕集部的物理量，来检测所述带电微粒的数量，

所述通气管具备：由陶瓷材料构成的致密质的骨架形成部、以及由杨氏模量比所述陶瓷材料的杨氏模量低的材料构成且与所述骨架形成部接触的致密质的应力缓和部。

或者，

本发明的微粒数检测器具备：

电荷产生元件，该电荷产生元件向被导入至通气管内的气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷，使其成为带电微粒；

剩余电荷捕集部，该剩余电荷捕集部设置于比所述电荷产生元件更靠向所述气体的气流下游侧的位置，对没有被附加到所述微粒上的剩余电荷进行捕集；以及

个数检测部，该个数检测部基于根据所述剩余电荷捕集部所捕集到的所述剩余电荷的数量而发生变化的所述剩余电荷捕集部的物理量，来检测所述带电微粒的数量，

所述通气管具备：由陶瓷材料构成的致密质的骨架形成部、以及由杨氏模量比所述陶瓷材料的杨氏模量低的材料构成且与所述骨架形成部接触的致密质的应力缓和部。