[发明专利]微粒数检测器

权利要求书

1.一种微粒数检测器，其中，具备：

电荷产生元件，该电荷产生元件向被导入至通气管内的气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷，使其成为带电微粒；

带电微粒捕集部，该带电微粒捕集部设置于比所述电荷产生元件更靠向所述气体的气流下游侧的位置，对所述带电微粒进行捕集；以及

个数检测部，该个数检测部基于根据所述带电微粒捕集部所捕集到的所述带电微粒的数量而发生变化的所述带电微粒捕集部的物理量，来检测所述带电微粒的数量，

所述通气管具备：由陶瓷材料构成的致密质的骨架形成部、以及由杨氏模量比所述陶瓷材料的杨氏模量低的材料构成且与所述骨架形成部接触的致密质的应力缓和部。

2.一种微粒数检测器，其中，具备：

电荷产生元件，该电荷产生元件向被导入至通气管内的气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷，使其成为带电微粒；

剩余电荷捕集部，该剩余电荷捕集部设置于比所述电荷产生元件更靠向所述气体的气流下游侧的位置，对没有被附加到所述微粒上的剩余电荷进行捕集；以及

个数检测部，该个数检测部基于根据所述剩余电荷捕集部所捕集到的所述剩余电荷的数量而发生变化的所述剩余电荷捕集部的物理量，来检测所述带电微粒的数量，

所述通气管具备：由陶瓷材料构成的致密质的骨架形成部、以及由杨氏模量比所述陶瓷材料的杨氏模量低的材料构成且与所述骨架形成部接触的致密质的应力缓和部。

3.根据权利要求1或2所述的微粒数检测器，其中，

所述骨架形成部为将所述通气管分割成多个得到的拼合式部件，所述应力缓和部为将多个所述拼合式部件接合的接合层。

4.根据权利要求3所述的微粒数检测器，其中，

所述通气管为方筒，所述拼合式部件为将所述通气管按每个面进行分割而分割成4个得到的部件。

5.根据权利要求1或2所述的微粒数检测器，其中，

所述骨架形成部为与所述通气管相同形状的管体，

所述应力缓和部呈层状设置于所述管体的外表面、内表面以及内部中的至少1处。

6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的微粒数检测器，其中，

所述应力缓和部的杨氏模量为构成所述骨架形成部的陶瓷材料的杨氏模量的0.7倍以下。

7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的微粒数检测器，其中，

所述骨架形成部由选自由氧化铝、氮化硅、多铝红柱石、堇青石以及氧化镁构成的组中的至少1种陶瓷材料构成。

8.根据权利要求1～7中的任意一项所述的微粒数检测器，其中，

所述应力缓和部由结晶玻璃构成。