[发明专利]用于检测至少一个组件的光学组件检测系统和方法

说明书

公开了一种用于检测至少一个组件的至少一个表面的光学组件检测系统，其中，容纳部配置成将组件定位在照相机装置之前，以便借助照相机装置检测组件的第一表面。照相机装置包括图像传感器，其配置成接收组件的第一表面的反射光。光学组件检测系统还包括布置在反射光至图像传感器的光路中的第一光学有效元件和用于第一光学有效元件的调节装置。调节装置包括用于第一光学有效元件的支架。支架固定在空心圆柱形的镜筒的内侧上并且镜筒的纵向中心线与第一光学有效元件的光学轴线同轴。支架至少在镜筒纵向方向上可弹性弯曲。此外，调节装置包括配置成调节光学有效元件和图像传感器之间的相对距离的第一执行装置，以便使光学有效元件沿着光学轴线相对于图像传感器移位。

技术领域

半导体组件应用于多种技术领域，例如半导体电子设备、光伏、光学探测器和辐射源(例如发光二极管)的制造。半导体组件的广泛应用对半导体组件制造商提出更高的要求，特别是在品质方面。半导体组件中或半导体组件上的缺陷或损坏是不期望的，因为缺陷或损坏会导致半导体组件的功能不良。因此，在制造时就检查半导体组件是否有缺陷和损坏。检查半导体组件的一种方法是，借助微米级光学系统对半导体组件进行成像。

但是光学系统的传统结构具有较低的景深。如果待检验的半导体组件的待成像的表面相对于光学系统的图像传感器的图像传感器表面倾斜，则半导体不能在图像中完全清楚地成像出来。其次，在光学系统中构建的光学组件通常具有较大的质量。因此，调整过程会比较缓慢，或通过调节组件改变焦点时光学系统会振动，从而使得图像品质明显变差。因此必须等待直至振动衰减，才能拍摄图像。在连续地制造和检查半导体组件的过程中这种增加的图像获取时间导致半导体组件产量降低。

背景技术

DE 10 2008 018 586 A1涉及一种用于检测组件的至少一个表面的光学检测装置。组件借助固紧元件而指向照相机装置并且组件的第一表面被光源以在短波范围中的第一光束照射。此外，检测装置包括第二光源，第二光源以长波范围中的第二光束来照射到组件的第二表面上，其中，组件的第二表面与第一表面相对。借助照相机装置接收在各表面上反射的光束。

JP 2016 128 781公开了用于检查电子组件的装置。该装置包括第一和第二图像拾取器件，其拍摄电子组件的不同区域的图像，其中，这些区域是长方体的两个不同区域。

DE102011089055A1公开了一种具有轴的机构，其中，在轴端部布置图像接收器和借助执行装置可直线移动的透镜。透镜固定在转子上，转子在圆柱形的滑管中可沿着移动方向移动。执行装置包括两个线圈，线圈围绕滑管布置。执行装置简单构造且可轻松安装。此外，例如在使用高压灭菌装置的情况下，执行装置能被简单消毒。

US2015/0168679A1公开了一种具有图像传感器和透镜组的照相机模块。透镜组能够借助调节装置相对于图像传感器移动。为此，调节装置包括用于透镜组的支架，其中，支架经由弹簧与图像传感器连接。通过该构造方案，照相机模块特别不易于发生振动。就此类似的设备也由US2014/0368724A1得知。

US2011/0176046A1公开了一种透镜调节设备，例如可用于移动电话的照相机模块。该设备包括图像传感器和透镜，其可经由调节单元相对于图像传感器移动。对此，透镜组经由弹簧与图像传感器连接。该设备可构造得特别小。

发明内容

本申请的目的是提供用于检测组件的高效的光学组件检测系统。