[发明专利]真空泵送系统有效
申请号: | 201880027966.0 | 申请日: | 2018-04-04 |
公开(公告)号: | CN110537023B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | C.M.贝利;M.R.切尔尼亚克 | 申请(专利权)人: | 爱德华兹有限公司 |
主分类号: | F04C23/00 | 分类号: | F04C23/00;B01D53/00;F04C25/02;F04D19/04;F04D25/16;H01L21/67 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 邹松青;傅永霄 |
地址: | 英国西萨*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空泵 系统 | ||
1.一种真空泵送系统,所述真空泵送系统包括:
多个真空泵送装置,所述真空泵送装置用于抽空可燃气体流并通过一个或多个排气出口排出所述可燃气体流;
壳体,所述壳体用于收容所述真空泵送装置并形成用于空气流的空气流管道,该空气流用于在所述壳体中的混合区域中与所述从一个或多个排气出口输出的可燃气体流混合;
空气流发生器,所述空气流发生器用于产生通过所述空气流管道的空气流以引起空气与所述可燃气体流的混合达到所述可燃气体在所述空气流中的百分比低于所述可燃气体的可燃性下限;以及
空气流量传感器,所述空气流量传感器用于感测空气的流量以用于确定所述空气流量是否足以将所述可燃气体稀释到低于所述百分比;
其中,所述壳体包括处于较低压力的第一区域和处于较高压力的第二区域,并且所述空气流管道由所述第二区域形成。
2.根据权利要求1所述的真空泵送系统,其中,所述真空泵送装置包括多个真空泵,并且第一区域收容上游真空泵且第二区域收容下游真空泵。
3.根据权利要求2所述的真空泵送系统,其中,所述壳体包括所述第一区域和第二区域,并且所述空气流管道的一部分由所述第二区域形成。
4.根据权利要求1所述的真空泵送系统,其中,所述多个真空泵送装置包括收容在真空泵送区域内的多个真空泵,所述真空泵送区域包括所述空气流管道,并且包括:与下游真空泵相邻的多个空气入口,其用于准许空气进入;以及与上游真空泵相邻的多个孔口,其用于输出空气。
5.根据权利要求4所述的真空泵送系统,其中,所述多个孔口被构造成将空气流输出到空气流通道,所述空气流管道还包括所述空气流通道。
6.根据权利要求4或5所述的真空泵送系统,其中,所述多个孔口包括可控制孔口,所述可控制孔口被构造成响应于控制信号来改变所述孔口的直径。
7.根据权利要求1-5中任一项所述的真空泵送系统,所述真空泵送系统包括至少两个所述空气流量传感器。
8.根据权利要求7所述的真空泵送系统,其中,所述空气流量传感器中的一个在所述真空泵送装置的上游,且一个在所述真空泵送装置的下游。
9.根据当权利要求4或5所述的真空泵送系统,所述真空泵送系统包括:多个空气流量传感器,每个空气流量传感器与所述多个孔口的至少子集中的对应一个相关联;以及与所述混合区域相邻的另外的空气流量传感器。
10.根据权利要求7所述的真空泵送系统,所述真空泵送系统包括控制件,并且其中,所述空气流量传感器或每个空气流量传感器被构造成:将与感测到的空气流量有关的信号输出到所述控制件,以用于确定所述空气流量是否足以将所述可燃气体稀释到低于所述百分比。
11.根据权利要求1-5中任一项所述的真空泵送系统,其中,所述壳体包括用于所述空气流管道的空气出口和至少一个空气入口,并且所述混合区域朝向所述空气出口被定位,用于所述可燃气体流的所述一个或多个排气出口被定位所述混合区域中以用于在传送通过所述空气出口之前将所述空气流与所述可燃气体流混合。
12.根据权利要求11所述的真空泵送系统,其中,所述混合区域将所述排气出口与所述空气出口间隔开一距离成足以允许所述可燃气体在通过所述空气出口排放之前与所述空气流混合到低于所述可燃性下限。
13.根据权利要求11所述的真空泵送系统,其中,所述混合区域包括用于将所述可燃气体与所述空气流混合的挡板装置。
14.根据权利要求11所述的真空泵送系统,所述真空泵送系统还包括氢气回收系统,所述氢气回收系统被定位在所述真空泵送装置和所述混合区域之间的所述空气管道中。
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