[发明专利]用于电子器件的测试装置的探针卡

说明书

本发明描述了一种用于电子器件的测试装置的探针卡，包括：至少一个探针头(21)，该至少一个探针头容纳多个接触探针(22)，每个接触探针(22)具有适于抵接在待测器件(23)的多个接触垫上的至少一个接触尖端；以及主支撑件(27)和连接至主支撑件(27)并且适于作为空间变换器(24)实现在其相对两侧上的多个接触垫之间的距离的空间变换的中间支撑件(24)。适合地，探针卡(20)包括适于连结空间变换器(24)和主支撑件(27)的至少一个连接元件(30)，该连接元件(30)具有基本上为杆状的主体(30C)并且装配有第一端部(30A)和第二端部(30B)，第一端部(30A)包括适于接合在空间变换器(24)中形成的相应容纳空间中的至少一个端子部分(30A1)，第二端部(30B)适于抵接在连结至主支撑件(27)的抵接元件(28)上。

技术领域

本发明涉及一种用于电子器件的测试装置的探针卡(probe card)。

特别地而非唯一地，本发明涉及一种探针卡，该探针卡包括至少一个中间支撑件，该中间支撑件连结(link to)至主支撑件或主PCB、特别地旨在与测试装置连接，该中间支撑件特别地能够形成其相对的两个面上的多个接触垫之间的距离的空间变换(即用作空间变换器)，并且出于简化陈述的目的以下公开是参考该应用领域作出的。

背景技术

如广泛已知的，测量卡(也称为探针卡)本质上为适于将微结构(特别是集成在晶片上的电子器件)的多个垫或接触垫与执行功能性测试(特别是电子测试，或一般测试)的测试装置的相应通道电连接的装置。

在集成器件上执行的测试对于在制造步骤中尽早检测和分隔有缺陷的器件是特别有用的。通常，探针卡因此被应用于在切割或分隔之前并将它们组装在密封包装内之前对集成在晶片或芯片上的器件的电子测试。

探针卡包括探针头，探针头本质上依次包括多个可移动的接触元件或接触探针，这些接触元件或接触探针配备有至少一个适于抵接在待测器件的相应的多个接触垫上的部分或接触尖端。术语“端”或“尖端”在此以及随后表示并不一定是尖锐的端部。

广泛已知的是，除其他因素之外，测量测试的有效性和可靠性精确地取决于器件和测试装置之间的良好电连接的形成，并且因此，取决于建立最佳的探针/垫的电接触。

在此考虑的用于测试集成在晶片上的器件的技术领域中使用的探针头的类型中，广泛使用所谓的具有悬臂(cantilever)探针的探针头、也称为悬臂探针头，悬臂探针头精确地具有在待测器件上方类似鱼竿状凸出的多个探针。

特别地，已知类型的悬臂探针头通常支撑多个具有预设电学和机械性能的弹性的、大致丝状(thread-like)的探针。从悬臂探针头凸出的探针、悬臂大致为勾形，这是由于存在内角通常为钝角的大致肘形折叠(elbow-folded)的端部。

通过将探针头按压在器件本身上来确保悬臂探针头的多个探针和待测器件的多个接触垫之间的良好连接，在该按压接触期间，接触探针经历在与器件朝向探针头移动相反的方向上的垂直弯折(相对于由待测器件限定的平面)。

在与待测器件的接触垫接触期间以及探针向上越过预设接触点移动(通常称为“超程”)期间，探针的勾形使得探针的接触尖端在接触垫上以通常称作“擦痕”的长度滑动。

在本领域中还已知通常称为具有垂直探针的探针头并且以术语“vertical probeheads(垂直探针头)”表示的探针头。垂直探针头本质上包括多个接触探针，这些接触探针由至少一对支撑件或导引件保持，该至少一对支撑件或导引件为大致板状的并且彼此平行。这些导引件彼此间隔一定距离设置，以留出用于接触探针的移动和可能的变形的自由空间或气隙，并且这些导引件配备有适合的导引孔，这些导引孔适于容纳这些接触探针。该对导引件特别地包括上模和下模，上模和下模均设置有导引孔，接触探针在这些导引孔中轴向滑动，接触探针通常由具有良好电学性能和机械性能的特殊合金丝形成，依照惯例，术语“下”表示距离待测器件最近的导引件。