[发明专利]用于电子器件的测试装置的探针卡

权利要求书

1.一种用于电子器件的测试装置的探针卡(20)，包括：

容纳多个接触探针(22)的至少一个探针头(21)，每个接触探针(22)具有适于抵接在待测器件(23)的接触垫上的至少一个接触尖端(22A)；以及

主支撑件(27)和连接至所述主支撑件的中间支撑件(24)，所述中间支撑件(24)适于作为空间变换器(24)实现在其相对两侧上的多个接触垫之间的距离的空间变换，还包括：

至少一个连接元件(30)，所述至少一个连接元件(30)适于连结所述空间变换器(24)和所述主支撑件(27)，所述至少一个连接元件(30)具有杆状的主体(30C)并且配备有第一端部(30A)和第二端部(30B)，所述第一端部(30A)包括至少一个端子部分(30A1)，该至少一个端子部分适于接合在所述空间变换器(24)中形成的相应容纳空间中，所述第二端部(30B)适于抵接在与所述主支撑件(27)连结的抵接元件(28)上；

在所述主支撑件(27)中形成的以非接合的方式容纳所述至少一个连接元件(30)的另外的容纳空间；

其中所述抵接元件(28)粘合在所述主支撑件(27)上并且由金属材料形成，所述金属材料的硬度和平面度大于制成所述主支撑件(27)的材料的硬度和平面度；以及

其中所述至少一个连接元件(30)的所述第二端部(30B)的最大横向尺寸(D1)大于所述至少一个连接元件(30)的所述主体(30C)的最大横向尺寸(D2)，所述第二端部(30B)限定适于抵接在所述抵接元件(28)上的至少一个底切区(Sq)；

其特征在于，所述探针卡(20)还包括至少一个框架(29)，所述至少一个框架(29)配备有所述至少一个连接元件(30)的至少一个容纳孔并且位于所述主支撑件(27)和所述空间变换器(24)之间。

2.根据权利要求1所述的探针卡(20)，其特征在于，还包括位于所述空间变换器(24)和所述主支撑件(27)之间的至少一个电气连接接口(29A)，所述至少一个电气连接接口(29A)对应于所述框架(29)并且适于形成在所述空间变换器(24)上和形成在所述主支撑件(27)上的形成相应的多个垫之间的连结，所述至少一个电气连接接口(29A)与空间变换器和主支撑件的对应于所述框架(29)而面向彼此的两侧(F3，F4)相对应。

3.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述至少一个连接元件(30)的所述第一端部(30A)的最大横向尺寸(D3)小于所述主体(20C)的最大横向尺寸(D2)并且形成适于抵接在所述框架(29)上的至少一个额外的底切区(Sq’)。

4.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述抵接元件(28)包括沿方向(Z)能够调节的多个脚(31)，方向(Z)正交于由所述抵接元件(28)限定的平面(XY)。

5.根据权利要求1所述的探针卡(20)，其特征在于包括多个连接元件(30)，每个连接元件(30)均容纳在在所述空间变换器(24)中形成的相应容纳空间中。

6.根据权利要求1所述的探针卡(20)，其特征在于，所述空间变换器(24)包括至少一个多层结构(25)，所述至少一个多层结构(25)连结至支撑件(26)，所述容纳空间至少部分地形成在所述多层结构(25)中。

7.根据权利要求1所述的探针卡(20)，其中所述空间变换器(24)包括至少一个MLO有机多层结构，所述至少一个MLO有机多层结构连结至陶瓷的支撑件(26)，所述陶瓷的支撑件(26)为至少部分地实现在所述多层结构(25)中的容纳空间。

8.根据前述权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述空间变换器包括多个多层结构模组(25₁…25_N)，每个多层结构模组均配备有至少一个连接元件(30)并且能够单独调节。