[发明专利]高频耦合器

权利要求书

1.一种高频耦合器，其具备：

导波管，具有设置成同轴管状的外导体及内导体，并从电源侧以直线状延伸而在弯曲部以L状弯曲，在加速腔侧以直线状延伸；及

制冷剂流通部，具有流通管，所述流通管在所述弯曲部中从所述导波管的外部朝向所述加速腔侧贯穿所述外导体和所述内导体而与所述内导体的内部连接，在所述内导体中所述加速腔侧的前端部的内部与所述导波管的外部之间使制冷剂流通，所述流通管中暴露于在所述外导体与所述内导体之间形成的高频传输空间的部分由绝缘体形成。

2.根据权利要求1所述的高频耦合器，其中，

所述导波管具有调整所述外导体及所述内导体中的至少一方的电气特性的调整部。

3.根据权利要求1或2所述的高频耦合器，其中，

所述流通管具有：

第1管部，由绝缘体形成，并连接所述导波管的外部和所述内导体的内部；及

第2管部，由金属形成，且配置于所述内导体的内部，在所述内导体的内部与所述第1管部连接，并沿所述内导体的所述前端部的内部延伸。

4.根据权利要求1或2所述的高频耦合器，其中，

所述流通管整体由绝缘体形成。

5.根据权利要求1或2所述的高频耦合器，其中，

所述流通管具有主体部和包覆部，所述主体部至少配置于所述导波管的内部且由金属形成，所述包覆部由绝缘体形成且覆盖所述主体部中暴露于所述高频传输空间的部分。