[发明专利]溅镀靶

说明书

一种用于形成锂离子二次电池的正极层的溅镀靶(100)，由多个第1粒子(110)和多个第2粒子(120)的烧结体构成，多个第1粒子(110)分别作为无机固体电解质包含锂磷氧化物(例如Li₃PO₄)，多个第2粒子(120)分别作为正极活物质包含锂过渡金属氧化物(例如LiNiO₂)。

技术领域

本发明涉及溅镀靶。

背景技术

随着便携电话和笔记本型个人计算机等便携电子设备的普及，强烈希望开发具有高能量密度的小型且轻量的二次电池。作为满足这样要求的二次电池，已知锂离子二次电池。锂离子二次电池具有包含正极活物质的正极、包含负极活物质的负极以及显示锂离子传导性且配置在正极和负极之间的电解质。

另外，研究了由薄膜层叠体构成锂离子二次电池，作为薄膜的形成方法，溅镀法受到关注。

在此，专利文献1中记载了在作为锂离子二次电池的正极材料形成LiNiO₂膜时，使用由LiNiO₂烧结体构成的溅镀靶。

此外，作为锂离子二次电池的正极，提出了使用例如包含正极活物质和固体电解质的合剂电极。

在此，专利文献2中记载了当作为锂离子二次电池的正极活物质膜形成Li_xNi_yPO_z膜的情况下，进行将Li₃PO₄和Ni这两者作为溅镀靶的共溅镀。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2016-23333号公报

专利文献2：日本特开2013-164971号公报

发明内容

在此，当作为锂离子二次电池的正极采用了合剂电极的情况下，如果实行使用多个溅镀靶的共溅镀，则需要按溅镀靶设定不同的溅镀条件。因此，在采用溅镀得到的合剂电极中，恐怕会产生组成等的不均。

本发明的目的是能够采用溅镀形成合剂电极，而无需使用组成等不同的多个溅镀靶。

本发明是用于形成锂离子二次电池中的正极的溅镀靶，由包含锂、过渡金属、磷和氧的烧结体构成。

在这样的溅镀靶中，可以使特征为，所述过渡金属的摩尔比高于所述磷的摩尔比。

并且，可以使特征为，所述锂的摩尔比高于所述过渡金属的摩尔比。

另外，从另一观点出发，本发明是一种用于形成锂离子二次电池中的正极的溅镀靶，由第1粒子和第2粒子的烧结体构成，所述第1粒子主要包含锂磷氧化物，所述第2粒子主要包含锂过渡金属氧化物。

在这样的溅镀靶中，可以使特征为，包含按摩尔比计比所述锂磷氧化物多的所述锂过渡金属氧化物。

另外，可以使特征为，所述第1粒子的粒径大于所述第2粒子的粒径。

根据本发明，能够采用溅镀形成合剂电极，而无需使用组成等不同的多个溅镀靶。

附图说明

图1是表示应用本实施方式的溅镀靶的概要的图。

图2是表示锂离子二次电池的截面构成的图。

图3(a)、(b)是表示实施例和比较例的正极层的比容量-电压特性的图。

图4(a)、(b)是表示实施例和比较例的充放电速率与容量比的关系的图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式详细说明。再者，以下说明中参照的附图中的各部分的大小和厚度等有时与实际尺寸不同。