[发明专利]脉冲光束光谱特征控制

权利要求书

1.一种用于调节光源所产生的脉冲光束的光谱特征的方法，所述方法包括：

接收指令以将所述脉冲光束的光谱特征从第一目标范围中的数值改变为第二目标范围中的数值；

调整所述光源的第一操作特性，其中调整所述第一操作特性包括调节所述光源的第一可致动装置直至确定所述第一操作特性处于可接受数值范围之内；

至少部分基于以下各项确定针对所述光源的第二可致动装置的调节：

所述第一可致动装置的调节与所述光束的光谱特征之间的关系，和

所述第二目标范围；以及

以基于所确定的调节的量调节所述第二可致动装置，

其中至少一些针对所述第二可致动装置的调节的确定以及至少一些针对所述第二可致动装置的调节在确定所述第一操作特性处于所述可接受数值范围之内之前进行。

2.根据权利要求1所述的方法，其中调整所述光源的所述第一操作特性作为反馈回路来执行，所述反馈回路包括：

在所述第一可致动装置被调节之后观察所述光源的所述第一操作特性；

确定所观察的第一操作特性是否处于所述可接受数值范围之内；以及

在确定所观察的第一操作特性处于所述可接受数值范围之外的情况下调节所述光源的第一可致动装置。

3.根据权利要求1所述的方法，其中基于所述第一可致动装置的所述调节与所述光束的所述光谱特征之间的关系确定针对所述第二可致动装置的调节包括：估计所述第一可致动装置的调节所导致的所述光束的光谱特征的偏移。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述偏移基于以下来估计：

所述第一操作特性的初始数值和所述第一操作特性的目标数值之间的差值，其中所述第一操作特性的目标数值处于所述可接受数值范围之内；

定义所述第一操作特性与所述第一可致动装置的状态之间的关系的校准数值；和

所述光束的所测量光谱特征比对所述第一可致动装置的状态的时序曲线的斜率。

5.根据权利要求3所述的方法，其中基于所述第一可致动装置的调节与所述光束的光谱特征之间的关系确定针对所述第二可致动装置的调节包括：计算针对所述第二可致动装置的、补偿所述第一可致动装置的调节所导致的所述光束的光谱特征的估计偏移的偏移调节。

6.根据权利要求5所述的方法，其中计算针对所述第二可致动装置的、补偿所述第一可致动装置的调节所导致的所述光束的光谱特征的估计偏移的所述偏移调节包括：将所述估计偏移乘以所述光束的所测量光谱特征与所述第二可致动装置的状态之间的关系的斜率。

7.根据权利要求5所述的方法，其中基于所述第二目标范围确定针对所述光源的所述第二可致动装置的调节包括：计算针对所述第二可致动装置的对应于所述第二目标范围的主调节，其中确定针对所述光源的所述第二可致动装置的调节包括：将所述偏移调节和所述主调节相加在一起以确定所述调节。

8.根据权利要求1所述的方法，进一步包括，在所述第二可致动装置已经完成其调节之后：

在测量所述光束的所述光谱特征的同时，将所述第二可致动装置维持在其当前状态；以及

调节所述第二可致动装置直至所述光束的所测量光谱特征处于所述第二目标范围之内。

9.根据权利要求8所述的方法，其中测量所述光束的所述光谱特征包括：针对N个脉冲的集合中的所述光束的每个脉冲测量所述光束的所述光谱特征，其中N是小于30的数字。

10.根据权利要求1所述的方法，其中：

所述光源的第一操作特性包括所述第一可致动装置的状态和所述第一可致动装置的目标状态之间的相对值；并且

所述第一可致动装置是与所述光源何时输出所述光束的脉冲相关的时序。