[发明专利]扫描仪的角磁场传感器

权利要求书

1.一种扫描仪(90)，包括：

具有弹性元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)的扫描单元(99，99-1，99-2)，其在基座(141)和偏转单元(150)之间延伸，其中，所述扫描单元(99，99-1，99-2)设置成通过所述弹性元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)的扭转(502)，以使偏转单元(150)处的光(180)以不同的角度(901，902)偏转；

磁体(660)，设置为用于产生杂散磁场；和

角磁场传感器(662)，其设置在所述杂散磁场中，并且设置为输出指示扭转(502)的信号；

其中，所述磁体(660)的磁矩具有垂直于所述扭转(502)的扭转轴(220)方向的分量。

2.根据权利要求1所述的扫描仪(90)，还包括：

接口元件(142，142-1，142-2)，与所述弹性元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)一体形成，并设置为固定所述偏转单元(150)；

其中，所述磁体(660)置于所述接口元件(142)上，或嵌入所述接口元件(142)中。

3.根据权利要求2所述的扫描仪(90)，其中，

所述扫描单元(99，99-1，99-2)包括两对支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)，其中，每对支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)被分配给相应的接口元件(142-1，142-2)；

其中，分配给所述两对支撑元件的所述接口元件(142-1，142-2)通过磁体(160)相互连接。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的扫描仪(90)，其中，

所述偏转(150)包括具有镜面(151)和与所述镜面(151)相对的背面(152，142)的反射镜，所述镜面(151)设置成用于反射光(180)；

其中，所述背面(152，142)布置在所述镜面(151)与所述磁体(660)和所述角磁场传感器(662)两者中的至少一个之间。

5.根据权利要求4所述的扫描仪(90)，

其中，所述弹性元件形成杆状，并且从该边朝向远离所述镜面(151)的方向延伸至所述基座(141)；

其中，所述杆的长度可选地不小于所述反射镜直径的20％，进一步可选地不小于所述反射镜直径的300％。

6.根据权利要求4或5所述的扫描仪(90)，其中，

所述磁体(660)形成为铁磁性涂层，或，形成为铁磁丸。

7.根据前述权利要求中任一项所述的扫描仪(90)，其中，

所述磁体(660)的磁矩相对于所述扭转(502)的所述扭转轴(220)对称地布置。

8.根据前述权利要求中任一项所述的扫描仪(90)，其中，

所述角磁场传感器(662)具有平面内灵敏度。

9.根据前述权利要求中任一项所述的扫描仪(90)，其中，

所述角磁场传感器(662)相对于所述扭转(502)的所述扭转轴(220)偏心布置。

10.根据前述权利要求中任一项所述的扫描仪(90)，其中，

所述磁体(660)刚性连接到所述偏转单元(150)，所述角磁场传感器(662)刚性连接到所述基座(141)；或，

所述磁体(660)刚性连接到所述基座(141)，所述角磁场传感器(662)刚性连接到所述偏转单元(150)。