[发明专利]透明光学膜的制造方法及透明多层膜的制造方法

说明书

本发明提供一种有效地制造包含透明且为极薄膜的银合金层的透明光学膜的透明光学膜的制造方法及使用了透明光学膜的制造方法的透明多层膜的制造方法。具有以下工序：成膜工序，包含将厚度为6nm以下的银层通过真空蒸镀进行成膜的银蒸镀工序、及将由标准电极电位大于银的高标准电极电位金属构成的高标准电极电位金属层通过真空蒸镀进行成膜的高标准电极电位金属蒸镀工序，并且在基材上至少将银层和高标准电极电位金属层进行层叠成膜；以及合金化工序，通过在50℃以上且400℃以下的温度下进行加热处理，在银层中使高标准电极电位金属扩散来形成银合金层。

技术领域

本发明涉及一种防反射膜及透明导电膜等所具备的透明光学膜的制造方法、及使用该制造方法的透明多层膜的制造方法。

背景技术

以往，在使用玻璃以及塑料等透光性部件的透镜(透明基材)中，为了减少基于表面反射的透射光的损失而在光入射面上设置有防反射膜。

作为相对于可见光显示出极低的反射率的防反射膜，已知有在最上层具备比可见光的波长短的间距的微细凹凸结构、或形成有大量孔而成的多孔结构的结构。若使用将微细凹凸结构或多孔结构等结构层作为低折射率层而在最上层上具有的防反射膜，则在可见光区域的宽波长频带内能够获得0.2％以下的超低反射率。然而，这种防反射膜由于在表面上具有微细结构，因此存在机械强度小，且极不耐于擦拭等外力这种缺点。因此，在作为照相机透镜等而使用的组透镜的最表面(第1透镜表面以及最终透镜背面)等用户所接触的位置上，无法实施具备结构层的超低反射率涂层。

另一方面，作为在表面不具备构造层的防反射膜，在日本特开2007-206146号公报及日本特开2013-238709号公报等中提出有在多个电介质膜的层叠体中包含金属层的防反射膜。

在日本特开2007-206146号公报中，记载有作为防反射膜中所含的金属层的构成物质优选银，但银会因环境中的污染物质、水、氧、碱金属卤化物……等而劣化、凝集，因此也记载有优选在银中含有一种以上的金、白金、钯……等的在环境中稳定的贵金属或稀土类等金属的合金的内容。并且，在日本特开2007-206146号公报中记载有优选设置防止在防反射膜的表面上附着污垢的防污层的内容，作为防污层，可举出有机氟化合物等。

在日本特开2013-238709号公报中，为了实现更低的反射率，提出有具备在低折射率层和高折射率层交替层叠而成的层叠体与具有露出到空气的表面的电介质层之间含有银的金属层的结构。

发明内容

发明要解决的技术课题

在日本特开2013-238709号公报中记载的防反射膜实现非常良好的防反射性能。然而，银容易被氧化，尤其盐水等的卤耐性低。水分或氯离子主要从防反射膜的空气曝露面入侵并到达包含银的金属层，使银氧化。若银被氧化，则防反射膜的防反射功能下降。在日本特开2013-238709号公报中记载的防反射膜未采取用于抑制银的劣化的对策。因此，认为存在耐久性的课题。

在日本特开2007-206146号公报中，公开有在最表面设置防污层的内容，但该防污层仅为了防止表面的污垢而设置，关于与抑制银的劣化相关的内容并无叙述。并且，实际上，即使设置防污层，也并非一定能够获得充分的抑制银的劣化的效果。

而且，在日本特开2007-206146号公报中提出为了使在环境中不稳定的银稳定化而使用由包含一种以上的贵金属或稀土类金属的合金构成的金属薄膜层的内容，且叙述有为了形成金属薄膜层，能够采用溅射、离子镀、真空蒸镀、电镀等以往公知的方法中的任一种。

然而，在日本特开2007-206146号公报的实施例中，未明确记载有作为金属薄膜层而将AgAu合金进行成膜的具体的成膜方法。