[发明专利]自动研磨系统

权利要求书

1.一种自动研磨系统，被研磨自动机（2）保持的研磨工具（4）借助前述研磨自动机（2）的动作而向处理对象物（W）的研磨对象面（A）的各部分移动，随着该移动，前述研磨工具（4）对前述研磨对象面（A）进行研磨处理，其特征在于，

设置有计测前述研磨对象面（A）的三维形状的三维形状计测器（3）；

设置有基于前述研磨对象面（A）的三维形状数据（D）对前述研磨自动机（2）进行控制或对前述研磨自动机（2）及前述研磨工具（4）进行控制的研磨控制器（6），前述研磨对象面（A）的三维形状数据（D）是通过由该三维形状计测器（3）进行的形状计测得到的；

为了借助由前述研磨控制器（6）进行的前述研磨自动机（2）的控制或前述研磨自动机（2）及前述研磨工具（4）的控制而使前述研磨工具（4）对于前述研磨对象面（A）的各部分进行研磨作用，

前述研磨控制器（6）基于前述三维形状数据（D），按照在前述研磨对象面（A）随机地存在的凸状部分中的、处于以相互接近的状态沿规定方向排列的状态的多个研磨对象凸状部分（t），设定跨越这些处于以接近状态沿规定方向排列的状态的多个研磨对象凸状部分（t）的假想线段（k）；

然后，前述研磨控制器（6）将前述研磨自动机（2）控制为或将前述研磨自动机（2）及前述研磨工具（4）控制为以下的状态：一边使前述研磨工具（4）在前述研磨对象面（A）上依次沿着各个前述假想线段（k）移动、一边使前述研磨工具（4）对于各个前述研磨对象凸状部分（t）依次地进行研磨作用的状态。

2.如权利要求1所述的自动研磨系统，其特征在于，

设置有保持前述三维形状计测器（3）的计测自动机（1）；

前述研磨控制器（6）对前述计测自动机（1）及前述三维形状计测器（3）进行控制；

借助由前述研磨控制器（6）进行的前述计测自动机（1）的控制，前述三维形状计测器（3）移动至相对于前述研磨对象面（A）的规定的计测位置；

借助由前述研磨控制器（6）进行的前述三维形状计测器（3）的控制，前述三维形状计测器（3）计测前述研磨对象面（A）的三维形状。

3.如权利要求1或2所述的自动研磨系统，其特征在于，

前述研磨控制器（6）随着前述假想线段（k）的设定，以将一条前述假想线段（k）的一方的端部设为研磨起始点（ka）并将另一方的端部设为研磨终点（kb）、相对于此在相邻的前述假想线段（k）中相反将一方的端部设为研磨终点（kb）并将另一方的端部设为研磨起始点（ka）的交替形态，对前述假想线段（k）各自的端部设定前述研磨起始点（ka）和前述研磨终点（kb）；

然后，前述研磨控制器（6）将前述研磨自动机（2）控制为以下的状态：对于各个前述假想线段（k）、使前述研磨工具（4）沿着前述假想线段（k）从前述研磨起始点（ka）移动到前述研磨终点（kb）、并且使到达了一条前述假想线段（k）的前述研磨终点（kb）的前述研磨工具（4）从前述研磨对象面（A）浮起而移动到相邻的前述假想线段（k）的前述研磨起始点（ka）的状态。

4.如权利要求1～3中任一项所述的自动研磨系统，其特征在于，

前述研磨控制器（6）基于前述三维形状计测器（3）的计测结果运算前述研磨对象面（A）上的各点（q）的三维坐标（α,β,γ），作为前述三维形状数据（D）；

前述三维坐标（α,β,γ）由在设定的基准面（s）的面上与前述各点（q）对应的对应点（q′）的前述基准面（s）上的位置坐标（α,β）、和相对于前述基准面（s）的垂直方向上的前述各点（q）的高度坐标（γ）构成。

5.如权利要求4所述的自动研磨系统，其特征在于，

前述研磨控制器（6）在沿着前述假想线段（k）的前述研磨工具（4）的移动中，根据前述研磨工具（4）经过的前述研磨对象凸状部分（t）各自的前述高度坐标（γ）来调整前述研磨工具（4）的研磨输出。

6.如权利要求1～5中任一项所述的自动研磨系统，其特征在于，

前述研磨控制器（6）基于前述三维形状数据（D）制作由等高线或由颜色浓度的变化表示前述研磨对象面（A）的凹凸状态的图像（G），将制作出的前述图像（G）显示在显示器的画面上。