[发明专利]洗涤中空纤维膜装置的方法、超滤膜装置、超纯水生产系统和洗涤装置

说明书

本发明提供一种洗涤中空纤维膜装置的方法，该方法能够有效地去除细颗粒，同时限制超纯水生产系统对启动的影响。洗涤中空纤维膜装置的方法包括在将中空纤维膜装置(10)安装到超纯水生产系统中之前用碱性水溶液洗涤中空纤维膜装置(10)。中空纤维膜装置(10)借助不同于超纯水生产系统的洗涤装置(21)来洗涤。

本申请基于并要求2017年3月9日提交的日本专利申请No.2017-44837的优先权，其公开内容通过引用整体并入本文。

技术领域

本发明涉及一种洗涤中空纤维膜装置、超滤膜装置、超纯水生产系统的方法和一种用于中空纤维膜装置的洗涤装置，特别地涉及一种洗涤超滤膜装置的方法，该超滤膜装置被安装在超纯水生产系统中，该超纯水生产系统生产超纯水用在诸如半导体的电子元件的制造过程中。

背景技术

在超纯水生产系统的末端处安装诸如超滤膜装置的中空纤维膜装置，以去除细颗粒。可以以比平膜和褶皱膜更高的密度安装中空纤维膜，并且中空纤维膜可以增加每个模块的渗透水量。另外，可以容易地制造中空纤维膜装置，同时保持中空纤维膜装置处于高度清洁状态。在保持中空纤维膜装置处于高度清洁状态的同时，还可以进行装运、在超纯水生产系统中安装和现场更换。换句话说，中空纤维膜装置的清洁度水平易于管理。

随着超纯水的水质的要求已经变得严格，超滤膜装置的要求也已经变得严格。此外，超纯水生产系统需要在短时间内启动。因此，提出了一种其中预先洗涤中空纤维膜装置的方法。JP2004-66015公开了借助专用洗涤装置洗涤安装在超纯水生产系统中的超滤膜装置。通过重复洗涤循环来洗涤超滤膜装置，该洗涤循环包括供给超纯水的步骤、使用超纯水浸渍的步骤和排出超纯水的步骤。

JP3896788公开了一种去除粘附到超纯水生产系统的管道和类似物的细颗粒的方法。诸如氨和氢氧化钠的碱性化合物被添加到在超纯水生产系统中流动的超纯水中，以便将超纯水的pH值调节到7到14之间。用于管道的材料的聚氯乙烯(PVC)和聚苯硫醚(PPS)具有负表面电位。因为通过将超纯水的pH朝向碱性调节使细颗粒带负电荷，所以细颗粒由于排斥电力而从管道的表面脱离。

发明内容

根据JP2004-66015中描述的方法，超滤膜装置用超纯水洗涤，但是由于超纯水的洗涤性能差，需要花费很长时间。在超滤膜装置中，能够捕获具有显着小粒径(例如，约为10nm的粒径)的细颗粒的超滤膜装置由于有限的水渗透量而需要更长的洗涤时间。另外，即使长时间洗涤以后，也可能没有满足细颗粒数量的要求。同时，根据JP3896788中描述的方法，在超滤膜装置安装在超纯水生产系统中以后进行碱洗。因此，超滤膜可能由于来自管道和系统的洗脱物质或由于操作而被污染、退化或破坏。另外，洗涤需要时间，因为在超纯水生产系统中碱性化合物的浓度必须降低到或低于预定值。为了避免这种情况，可以在洗涤过程中旁通(bypass)超滤膜装置，但是在这种情况下，需要旁通管道。

本发明的目的在于提供一种洗涤中空纤维膜装置的方法，该方法能够有效地去除细颗粒，同时限制超纯水生产系统对启动时间的影响。

根据本发明的洗涤中空纤维膜装置的方法包括：在将中空纤维膜装置安装到超纯水生产系统中之前用碱性水溶液洗涤中空纤维膜装置。中空纤维膜装置通过不同于超纯水的洗涤装置被洗涤。

根据本发明的洗涤中空纤维膜装置的方法，用碱性水溶液洗涤中空纤维膜装置。因此，可以有效地去除细小颗粒。中空纤维膜装置通过与超纯水生产系统不同的洗涤装置来洗涤。因此，超纯水生产系统可以在被洗涤的中空纤维膜装置安装到超纯水生产系统中之后不久启动。因此，根据本发明，可以提供一种洗涤中空纤维膜装置的方法，该方法能够有效地去除细颗粒，同时限制超纯水生产系统对启动时间的影响。

通过以下参考说明本申请的附图的详细描述，本申请的上述的和其他目的、特征和优点将变得明显。

附图说明

图1是超级水生产系统的结构示意图；

图2是超滤膜装置的结构示意图；和