[发明专利]洗涤中空纤维膜装置的方法、超滤膜装置、超纯水生产系统和洗涤装置

权利要求书

1.一种洗涤中空纤维膜装置的方法，所述方法包括：

在将所述中空纤维膜装置安装到超纯水生产系统中之前，用碱性水溶液洗涤所述中空纤维膜装置，其中，所述中空纤维膜装置借助不同于所述超纯水生产系统的洗涤装置而被洗涤，

所述中空纤维膜装置洗涤依次进行以下工序：

将所述碱性水溶液供给通过所述中空纤维膜装置，

将所述中空纤维膜装置浸渍在碱性水溶液中，

将所述碱性水溶液供给通过所述中空纤维膜装置，

用超纯水漂洗所述中空纤维膜装置。

2.根据权利要求1所述的洗涤中空纤维膜装置的方法，其中，所述超纯水的电阻率为18MΩcm或以上且TOC为5ppb或以下，在超纯水中粒径为50nm或以上的细颗粒的数量为1/mL或以下，并且超纯水中的金属浓度为10ppt或以下。

3.根据权利要求1所述的洗涤中空纤维膜装置的方法，其中，所述碱性水溶液的pH为8至11。

4.根据权利要求1所述的洗涤中空纤维膜装置的方法，其中，所述碱性水溶液为氨水溶液、胺水溶液或氢氧化四烷铵水溶液。

5.根据权利要求1所述的洗涤中空纤维膜装置的方法，其中，所述中空纤维膜装置是安装在超纯水生产系统的最下游阶段处的超滤膜装置。

6.一种超滤膜装置，所述超滤膜装置安装在超纯水生产系统中，所述超滤膜装置包括：

壳体；

中空纤维膜，其容纳在所述壳体中；

用于待处理水的入口，其形成在所述壳体上并且与所述壳体的内部空间连通；和

用于被处理过的水的出口，其形成在所述壳体上并且与所述中空纤维膜的内部空间连通，

在将所述中空纤维膜装置安装到超纯水生产系统中之前，所述中空纤维膜装置借助不同于所述超纯水生产系统的洗涤装置而被洗涤，

所述洗涤依次进行以下工序：

将碱性水溶液供给通过所述中空纤维膜装置，

将所述中空纤维膜装置浸渍在碱性水溶液中，

将碱性水溶液供给通过所述中空纤维膜装置，

用超纯水漂洗所述中空纤维膜装置，

其中，包含在被处理过的水中的粒径为20nm或更大的细颗粒的数量为0.5/mL或更少，通过在所述用于待处理水的入口处供应超纯水而在所述用于被处理过的水的出口处获得所述被处理过的水。

7.一种超纯水生产系统，包括：

离子交换装置；和

根据权利要求6所述的超滤膜装置，其中，所述超滤膜装置布置在所述离子交换装置的下游。

8.一种洗涤装置，其中，所述洗涤装置用于中空纤维膜装置，所述中空纤维膜装置包括壳体和容纳在所述壳体中的中空纤维膜，所述洗涤装置包括：

用于洗涤水的供应管线，其连接到用于待处理水的入口，其中，所述用于待处理水的入口与所述壳体的内部空间连通；

用于洗涤水的第一出口管线，其连接到用于被处理过的水的出口，其中，所述用于被处理过的水的出口与所述中空纤维膜的内部空间连通；

用于洗涤水的第二出口管线，其连接到用于冷凝水的出口，其中，所述用于冷凝水的出口与所述壳体的内部空间连通；

用于超纯水的供应单元，其连接到所述供应管线；

用于碱性洗涤剂的供应单元，其连接到所述供应管线；和

控制装置，其控制碱性洗涤剂的供应，

在用超纯水漂洗所述中空纤维膜装置之前，依次进行以下工序：

将碱性水溶液供给通过所述中空纤维膜装置，

将所述中空纤维膜装置浸渍在碱性水溶液中；

将碱性水溶液供给通过所述中空纤维膜装置。