[发明专利]真空泵的排气系统、装备于真空泵的排气系统的真空泵、吹扫气体供给装置、温度传感器单元及真空泵的排气方法

权利要求书

1.一种真空泵的排气系统，具备：

真空泵，在吹扫气体流路，配设有测量旋转部的温度的温度传感器单元；

吹扫气体储存装置，储存由所述真空泵利用的吹扫气体；以及

吹扫气体供给装置，将储存在所述吹扫气体储存装置中的所述吹扫气体向所述真空泵供给，调整所述吹扫气体的流量；

其特征在于，

至少在所述温度传感器单元测量所述旋转部的所述温度时，所述吹扫气体供给装置增加所述吹扫气体的前述流量，

将满足以下某一方的条件的所述吹扫气体向所述真空泵供给：

在比所述温度传感器单元靠下游侧的至少一部分、所述吹扫气体的流速比由所述真空泵排气的排气气体倒流的流速快的量；

或在所述温度传感器单元周围、所述吹扫气体的压力成为中间流或粘性流的量。

2.如权利要求1所述的真空泵的排气系统，其特征在于，

通过将所述温度传感器单元周围的所述吹扫气体的平均自由行程比所述温度传感器单元与所述旋转部的距离小的量的所述吹扫气体向所述真空泵供给，使向所述真空泵供给的所述吹扫气体的所述压力成为中间流或粘性流。

3.如权利要求1所述的真空泵的排气系统，其特征在于，

所述真空泵具备：定子柱，收容使所述旋转部旋转的电装部；以及基座，将所述定子柱固定；

通过所述定子柱在所述吹扫气体流路的比所述温度传感器单元靠下游侧的至少一部分具备外径比所述基座大的节流部，将流速比由所述真空泵排气的所述排气气体倒流的流速快的所述吹扫气体向所述真空泵供给。

4.如权利要求1所述的真空泵的排气系统，其特征在于，

所述真空泵具备：定子柱，收容使所述旋转部旋转的电装部；以及基座，将所述定子柱固定；

通过所述基座在所述吹扫气体流路的比所述温度传感器单元靠下游侧的至少一部分具备外径比所述定子柱大的节流部，将流速比由所述真空泵排气的所述排气气体倒流的流速快的所述吹扫气体向所述真空泵供给。

5.如权利要求1～4中任一项所述的真空泵的排气系统，其特征在于，

所述吹扫气体供给装置能够将向所述真空泵供给的所述吹扫气体的所述流量以由所述温度传感器单元进行的温度测量时和其以外的至少两种进行设定。

6.如权利要求1～4中任一项所述的真空泵的排气系统，其特征在于，

所述温度传感器单元具备：

受热部，与所述旋转部对置；

绝热部，支承所述受热部；

安装部，将所述绝热部安装于所述真空泵；以及

第1温度传感器，被固定在所述受热部。

7.如权利要求6所述的真空泵的排气系统，其特征在于，

所述温度传感器单元的所述受热部和所述绝热部被一体成型。

8.如权利要求6所述的真空泵的排气系统，其特征在于，

所述温度传感器单元在所述绝热部、所述安装部或安装所述温度传感器单元的零件具备第2温度传感器；

根据所述第1温度传感器和所述第2温度传感器的温度差测量所述旋转部的所述温度。

9.一种真空泵，其特征在于，

装备于权利要求1～8中任一项所述的真空泵的排气系统。

10.一种吹扫气体供给装置，其特征在于，

装备于权利要求1～8中任一项所述的真空泵的排气系统。

11.一种温度传感器单元，其特征在于，

装备于权利要求1～8中任一项所述的真空泵的排气系统。

12.一种真空泵的排气方法，其特征在于，

在权利要求1～8中任一项所述的真空泵的排气系统中，

至少在所述温度传感器单元测量所述旋转部的所述温度时，在所述温度传感器单元周围，将满足以下某一方的条件的所述吹扫气体向所述真空泵供给：

所述吹扫气体的流速比由所述真空泵排气的排气气体倒流的流速快的量；或所述吹扫气体的压力成为中间流或粘性流的量。