[发明专利]流体加热器、流体控制装置以及流体加热器的制造方法

说明书

本发明提供一种可提高流体的加热效率的流体加热器、流体控制装置以及流体加热器的制造方法。流体加热器(20)具备：形成有流路(22c)的流路部件(22)、以及用于对流路部件(22)进行加热的加热器(25)，流路(22c)呈螺旋状，且沿着长度方向的剖面的形状呈多边形状。流路部件(22)的造型方向(M)与多边形的一个对角线平行。流路部件(22)呈大致圆柱形，其长度方向与流路部件(22)的造型方向为相同方向。

技术领域

本发明涉及一种流体加热器、流体控制装置、以及流体加热器的制造方法，其用于半导体制造装置等所使用的流体控制装置。

背景技术

以往，提出有一种流体控制装置，其通过加热器对在气体线路中流动的流体进行加热(例如参照专利文献1)。另外，有时在多个气体线路中，针对规定的气体线路的吹扫气体配管，设置用于对吹扫气体进行加热的流体加热器。流体加热器具有：流通吹扫气体的流路部件、以及对流体部件进行加热的加热器，在流路部件形成有沿着轴向呈直线状延伸的流路。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-246356号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

但是，就以往的流体加热器的流路部件而言，加热效率差，并且在所期望的温度为高温的情况下，需要将相对于气体线路的加热距离设定为较大。如果加热距离变大，则会导致流路部件及流体加热器的大型化，阻碍近年来流体控制装置的进一步小型化。

为此，本发明的一个目的在于，提供一种能够提高流体的加热效率的流体加热器及流体控制装置。

(二)技术方案

为了实现上述目的，本发明的一个方式的流路部件具备：流路部件；用于对所述流路部件进行加热的加热器；用于将所述流路部件固定于流体控制器件的固定部件；以及与所述流路部件连接并用于使流体流入所述流路部件的连接部件，所述流路呈螺旋状且沿着长度方向的剖面的形状呈多边形状。

另外，本发明的一个方式的流体控制装置具备：固定于接头的多个流体控制器件；以及用于对在所述流体控制器件中流动的流体进行加热的流体加热器，所述流体加热器具备：形成有流路的流路部件；用于对所述流路部件进行加热的加热器；用于将所述流路部件固定于流体控制器件的固定部件；以及与所述流路部件连接并用于使流体流入所述流路部件的连接部件，所述流路呈螺旋状且沿着长度方向的剖面的形状呈多边形状。

另外，本发明的一个方式的流体加热器的制造方法，是制造如下的流体加热器的制造方法，该流体加热器具备：形成有流路的流路部件；用于对所述流路部件进行加热的加热器；用于将所述流路部件固定于流体控制器件的固定部件；以及与所述流路部件连接并用于使流体流入所述流路部件的连接部件，所述流路呈螺旋状且沿着长度方向的剖面的形状呈多边形状，该流体加热器的制造方法具备：通过金属粉末烧结造型方式来制作所述流路部件的工序；以及向所述流路部件组合所述加热器、所述固定部件和所述连接部件的工序。

另外，流路部件以使其造型方向与所述多边形状的一个对角线平行的方式进行造型。

另外，所述流路部件以使其呈圆柱形并且其长度方向与所述流路部件的造型方向为相同方向的方式进行造型。

另外，本发明的一个方式的流路部件具备：形成有流路的流路部件；用于对所述流路部件进行加热的加热器；用于将所述流路部件固定于流体控制器件的固定部件；以及与所述流路部件连接并用于使流体流入所述流路部件的连接部件，所述流路呈螺旋状，且构成为所述流路的表面积比所述流路部件的形成有所述流路的部分的外周的表面积大。