[发明专利]流体加热器、流体控制装置以及流体加热器的制造方法

权利要求书

1.一种流体加热器，其具备：

流路部件，其通过金属粉末烧结造型方式制作，形成有流路；

加热器，其用于对所述流路部件进行加热；

固定部件，其用于将所述流路部件固定于流体控制器件；以及

连接部件，其与所述流路部件连接并用于使流体流入所述流路部件，

所述流路呈螺旋状，且沿着长度方向的剖面的形状呈菱形，

所述流路部件的造型方向与所述菱形的一个对角线平行，以使形成所述流路的面由相对于所述造型方向倾斜的面构成，

所述流路的表面积比所述流路部件中形成有所述流路部分的外周的表面积大。

2.一种流体控制装置，其具备：

多个流体控制器件，它们固定于接头；以及

流体加热器，用于对在所述流体控制器件中流动的流体进行加热，

所述流体加热器具备：

流路部件，其通过金属粉末烧结造型方式制作，形成有流路；

加热器，其用于对所述流路部件进行加热；

固定部件，其用于将所述流路部件固定于流体控制器件；以及

连接部件，其与所述流路部件连接并用于使流体流入所述流路部件，

所述流路呈螺旋状，且沿着长度方向的剖面的形状呈菱形，

所述流路部件的造型方向与所述菱形的一个对角线平行，以使形成所述流路的面由相对于所述造型方向倾斜的面构成，

所述流路的表面积比所述流路部件中形成有所述流路部分的外周的表面积大。

3.一种流体加热器的制造方法，是制造如下的流体加热器的制造方法，该流体加热器具备：形成有流路的流路部件；用于对所述流路部件进行加热的加热器；用于将所述流路部件固定于流体控制器件的固定部件；以及与所述流路部件连接并用于使流体流入所述流路部件的连接部件，所述流路呈螺旋状且沿着长度方向的剖面的形状呈菱形，

该流体加热器的制造方法具备：

通过金属粉末烧结造型方式来制作所述流路部件的工序；以及

向所述流路部件组合所述加热器、所述固定部件和所述连接部件的工序，

所述流路部件以使其造型方向与所述菱形的一个对角线平行的方式进行造型，以使形成所述流路的面由相对于所述造型方向倾斜的面构成，

所述流路的表面积比所述流路部件中形成有所述流路部分的外周的表面积大。

4.根据权利要求3所述的流体加热器的制造方法，其特征在于，所述流路部件以使其呈圆柱形并且其长度方向与所述流路部件的造型方向为相同方向的方式进行造型。