[发明专利]物体捕捉装置

说明书

一种对存在于测定对象空间的物体进行捕捉的物体捕捉装置，其中，该物体捕捉装置具备：发光部；受光部；光扫描部，其使从发光部出射的规定波长的测定光朝向测定对象空间扫描，并将针对测定光的来自测定对象空间的物体的反射光向所述受光部引导；以及偏振滤波器，其具备配置于光扫描部且仅使测定光中的沿着第一方向振动的光透过的偏振片和仅使反射光中的沿着与第一方向正交的第二方向振动的光透过的检偏振器。

技术领域

本发明涉及对存在于测定对象空间的物体中的特定的物体进行捕捉的物体捕捉装置。

背景技术

在半导体器件的制造设备中，为了将收容有多张半导体晶片的晶片载体装置从一个制造装置的装载端口向另一制造装置的装载端口输送而使用有输送台车。这样的输送台车被称为空中行驶式无人输送车，简记为OHT(Overhead Hoist Transfer)。

为了避免该输送台车与人、机械等障碍物之间的接触，该输送台车构成为具备沿着在各制造装置的上部空间设置的行驶导轨、即轨道自动行驶的行驶部和支承于该行驶部的物品收容部，在物品收容部组装有升降机构，该升降机构使升降体沿着规定的升降路径升降，其中，该升降体具备用于抓住输送对象物、即晶片载体装置的夹持机构。

为了按照各制造装置的布局来输送晶片载体装置，该轨道是不仅具备单纯的直线部而且还具备弯曲部、分支部、汇合部等的复杂形状，该制造设备构成为使多个输送台车隔开间隔地在同一轨道上行驶。

在该制造设备中，为了提高晶片载体装置的输送效率，要求多个输送台车在轨道上高速行驶，由于输送台车间的车间距离存在变短的倾向，因此需要具备防止万一发生的追尾事故的机构。

专利文献1公开一种如下的技术：为了避免输送台车的追尾，在输送台车上设置激光测距仪等车间距离传感器，基于由车间距离传感器计测到的车间距离来算出与前方的输送台车之间的相对速度，基于相对速度来控制本车的行驶速度，由此避免追尾。

然而，在前方的输送台车在轨道的弯曲部行驶这样的情况下，由于前方的输送台车脱离从激光测距仪输出的测定光的扫描范围，因此不仅无法检测前方的输送台车，而且有可能将来自各制造装置等的外装板的反射光、来自其他的行驶台车等的反射光误检测为来自在前方行驶的输送台车的反射光。

于是，专利文献2提出了如下的距离测定装置：在沿轨道行驶的输送台车的前部配置由扫描部和距离运算部构成的测距装置，所述扫描部使调制后的测定光以平面状扫描，所述距离运算部根据由扫描部扫描出的测定光和来自检测物的反射光之间的时间延迟来算出距检测物的距离，通过该测距装置根据来自在前方的行驶的输送台车的后部配置的回归性反射构件的反射光，来检测输送台车间的车间距离。

该距离测定装置具备识别部，所述识别部基于由扫描部扫描出的测定光的多个扫描角度、由距离运算部算出的与各扫描角度对应的距离、以及与各扫描角度对应的反射光的强度中的至少任意两者的相关关系，来识别是否为来自回归性反射构件的反射光。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-25745号公报

专利文献2：日本特开2011-69671号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，即使是专利文献2所记载的距离测定装置，也无法完全排除识别部将来自制造装置等的壁面的反射光误判断为来自输送台车所具备的回归性反射构件的反射光的情况。

原因在于，根据距离测定装置与测定光所照射的壁面之间的间隔距离，存在测定光所照射的壁面的反射特性与在输送台车的后部配置的回归性反射构件的反射特性近似的情况。例如是壁面由铝等金属板构成且测定光从大致垂直方向向壁面入射的情况、例如是壁面由起皱加工后的白色涂装面等构成的情况。