[发明专利]用于在真空腔室中的载体对准的设备和在真空腔室中对准载体的真空系统及方法

说明书

描述了一种用于在真空腔室(101)中的载体对准的设备(100)。此设备包括支撑件(110)，在真空腔室(101)中于第一方向(X)中延伸；磁性悬浮系统(120)，装配以在真空腔室(101)内于第一方向(X)中传送第一载体(10)，磁性悬浮系统包括至少一个磁铁单元(121)，以及对准系统(130)，对准系统(130)用以对准第一载体(10)。此至少一个磁铁单元(121)及对准系统刚性地固定于支撑件(110)。再者，描述了一种对准载体的真空系统及方法。

技术领域

本公开的数个实施方式是有关于一种用于在真空腔室中对准载体的设备及真空系统，及有关于一种在真空腔室中对准载体的方法。更特别是，说明一种在真空腔室中传送、定位、及对准运载基板的基板载体的方法。本公开的数个实施方式特别是有关于一种用以沉积材料于由载体所运载的基板上的真空沉积系统，其中在沉积之前，基板相对于掩模对准。此处所述的数种方法及设备可使用于有机发光二极管装置(organic light-emitting diode，OLED) 的制造中。

背景技术

用于在基板上的层沉积的技术举例为包括热蒸发、物理气相沉积 (physicalvapor deposition，PVD)、及化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)。已涂布的基板可使用于数种应用中及数种技术领域中。举例来说，已涂布的基板可使用于有机发光二极管(OLED)装置的领域中。 OLED可使用于制造电视屏幕、计算机屏幕、移动电话、其他手持装置及举例为用于显示数据的类似物。OLED装置例如是OLED显示器，OLED装置可包括一或多个有机材料层，位于全沉积于基板上的两个电极之间。

在沉积涂布材料于基板上期间，基板载体可支承基板，及掩模载体可支承掩模于基板的前方。对应于掩模的开孔图案的材料图案可举例为通过蒸发来沉积于基板上。材料图案举例为数个像素。

OLED装置的功能一般取决于必须在预定范围中的涂布图案的准确性及有机材料的厚度。为了取得高分辨率的OLED装置，必须克服有关于沉积已蒸发的材料的数个技术挑战。特别是，准确及平顺传送运载基板的基板载体及/或运载掩模的掩模载体通过真空系统具有挑战性。再者，为了达成高质量的沉积结果来举例为用于制造高分辨率的OLED装置，相对于掩模的基板的精准对准为关键。再进一步而言，涂布材料的有效利用为有益的，及系统的空闲时间仅可能的保持越短越好。

有鉴于上述，提供数种用以在真空腔室中准确地及可靠地传送、定位及 /或对准数个载体的设备、系统及方法是有利的。此些载体用以运载数个基板及/或数个掩模。

发明内容

有鉴于上述，提出一种用于在真空腔室中的载体对准的设备及真空系统，及一种于真空腔室中对准基板载体的方法。本公开的其他方面、优点、及特征通过权利要求书、说明、及附图更为清楚。

根据本公开的一方面，提出一种用于在真空腔室中的载体对准的设备。此设备包括支撑件，在真空腔室中于第一方向中延伸；磁性悬浮系统，装配以于第一方向中传送第一载体，其中磁性悬浮系统包括至少一个磁铁单元，以及对准系统，对准系统用以对准第一载体。所述至少一个磁铁单元及对准系统固定于支撑件。

于一些实施方式中，第一载体为基板载体，装配以运载基板。于一些实施方式中，对准系统被装配，以相对于第二载体对准第一载体，第一载体举例为基板载体，第二载体举例为掩模载体，以沉积材料于由第一载体所运载的基板上。

根据本公开的另一方面，提出一种用于在真空腔室中的载体对准的真空系统。此真空系统包括真空腔室，具有顶壁及侧壁；支撑件于顶壁设置于真空腔室中；及对准系统，用以对准第一载体，对准系统固定于支撑件，其中对准系统延伸通过侧壁及柔性地(flexibly)连接于侧壁，特别是经由振动阻尼元件或振动隔离元件柔性地连接于侧壁。

于一些实施方式中，真空系统为真空沉积系统，包括沉积源，沉积源用以在真空腔室中沉积材料于基板上。第一载体运载此基板。