[发明专利]用于在真空腔室中的载体对准的设备和在真空腔室中对准载体的真空系统及方法

权利要求书

1.一种用于在真空腔室(101)中的载体对准的设备(100)，所述设备包括：

支撑件(110)，在所述真空腔室(101)中于第一方向(X)中延伸；

磁性悬浮系统(120)，装配以在所述真空腔室(101)内于所述第一方向(X)中传送第一载体(10)，所述磁性悬浮系统包括至少一个磁铁单元(121)；以及

对准系统(130)，用以对准所述第一载体(10)；

其中所述至少一个磁铁单元(121)及所述对准系统固定于所述支撑件(110)，

其中所述对准系统(130)包括：

第一固定件(152)，用以固定所述第一载体(10)于所述对准系统(130)；以及

第一移动装置(141)，装配以于第二方向(Z)中移动所述第一固定件(152)，所述第二方向(Z)横向于所述第一方向(X)。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述第一移动装置(141)的驱动单元(142)固定于所述对准系统的主体(131)，所述对准系统的所述主体固定于所述支撑件(110)，所述第一固定件(152)设置于所述第一移动装置(141)的从动部件(143)。

3.如权利要求2所述的设备，其中所述驱动单元(142)布置于所述真空腔室(101)的外侧，及所述从动部件(143)通过所述真空腔室的侧壁(102)延伸至所述真空腔室(101)中。

4.如权利要求1所述的设备，其中所述对准系统(130)进一步包括：

对准装置(151)，装配以于至少一个对准方向中移动所述第一固定件(152)，所述第一移动装置(141)被装配，以于所述第二方向(Z)中一起移动所述对准装置(151)及所述第一固定件(152)。

5.如权利要求1所述的设备，其中所述对准系统(130)延伸通过所述真空腔室的侧壁(102)，及经由至少一个振动阻尼元件(103)柔性地连接于所述侧壁。

6.如权利要求5所述的设备，其中所述对准系统经由弹性密封连接于所述侧壁。

7.如权利要求6所述的设备，其中所述弹性密封是波纹管元件。

8.如权利要求1所述的设备，其中所述支撑件(110)被装配成支撑件轨道或支撑件梁，固定于所述真空腔室(101)的顶壁。

9.如权利要求1至8中任一项所述的设备，所述设备进一步包括第二磁性悬浮系统(122)，装配以沿着平行于所述第一载体(10)的所述第一方向(X)传送第二载体(20)，所述第二磁性悬浮系统(122)包括至少一个第二磁铁单元(123)，所述至少一个第二磁铁单元(123)固定于所述支撑件(110)。

10.如权利要求1所述的设备，其中所述对准系统进一步包括：

第二固定件(153)，用以固定第二载体(20)于所述对准系统；以及

第二移动装置(144)，装配以于所述第二方向(Z)中移动所述第二固定件。

11.如权利要求10所述的设备，其中所述第一移动装置(141)的驱动单元(142)及所述第二移动装置(144)的第二驱动单元(145)固定于所述对准系统的主体(131)，所述对准系统的所述主体(131)固定于所述支撑件(110)。

12.如权利要求1至8中任一项所述的设备，所述设备进一步包括第二对准系统，所述第二对准系统于所述第一方向(X)中与所述第一对准系统分隔及固定于所述支撑件(110)。