[发明专利]照明装置

说明书

照明装置(2)生成干涉条纹(3)。输入臂(10)接收来自光源(80)的输入光。分波器(40)使通过了输入臂10的输入光向第一输出臂(20)和第二输出臂(30)分支。相位调制器(50)使第一输出臂(20)的出射光与第二输出臂(30)的出射光之间的相位差变化。相位检测器(60)根据第一输出臂(20)的前端处的第一反射光L₄₁与第二输出臂(30)的前端处的第二反射光L₄₂合成而得的返回光L₅，检测第一输出臂(20)的出射光L₃₁与第二输出臂(30)的出射光L₃₂之间的相位差。

技术领域

本发明涉及照明装置。

背景技术

作为计测对象物的三维形状的方法，公知有将激光的干涉条纹投影到对象物上，通过拍摄干涉条纹的投影像并进行分析来运算对象物表面的凹凸信息的被称为“条纹扫描法”的技术。在条纹扫描法中，根据干涉条纹的扫描量和投影像的各点的光强度的变化而求出各点处的凹凸的深度和高度(例如参照专利文献1)。

干涉条纹由照明装置生成。照明装置具有两个路径(臂)的波导、将具有可干涉性的光向两个波导分支的耦合器、以及使两个波导的光路长度不同的相位调制器。通过使透过两个波导的光干涉，形成干涉条纹。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5-87543号公报

发明内容

发明要解决的课题

干涉条纹的强度分布根据两个臂的相位差来控制。在三维形状计测和结构化照明中，干涉条纹的强度分布是重要的参数，但为了得到期望的干涉条纹，需要高精度地控制两个臂的相位差。

本发明是在这种状况下完成的，其某个方式的例示性的目的之一在于，提供一种能够测定多个臂的相位差的照明装置。

用于解决课题的手段

本发明的某个方式涉及一种生成干涉条纹的照明装置。照明装置具有：输入臂，其接收来自光源的输入光；第一输出臂；第二输出臂；分波器，其使通过了输入臂的输入光向第一输出臂和第二输出臂各自的入射端分支；相位调制器，其使第一输出臂的出射光与第二输出臂的出射光之间的相位差变化；以及相位检测器，其根据第一输出臂的出射端处的第一反射光与所述第二输出臂的出射端处的第二反射光合成而得的返回光，检测第一输出臂的出射光与所述第二输出臂的出射光之间的相位差。

另外，将以上的构成要素的任意组合、本发明的表现在方法、装置、系统等之间进行变换而得的方式作为本发明的方式也是有效的。

发明效果

根据本发明的某个方式，能够测定多个输出臂的相位差。

附图说明

图1是示出生成干涉条纹的照明装置的原理的图。

图2是示出相位差Δφ与返回光的强度I的关系的图。

图3是对颤动处理进行说明的图。

图4是示出第一实施例的照明装置的图。

图5是示出前端部的一部分的俯视图。

图6是变形例的光集成电路的俯视图。

图7是示出图6的光集成电路中的相位差Δφ与返回光的强度I的关系的图。

图8的(a)、(b)是示出第二实施例的照明装置的图。

图9的(a)、(b)是示出第三实施例的照明装置的图。

图10是示出第四实施例的照明装置的图。