[发明专利]照明装置

权利要求书

1.一种照明装置，其生成干涉条纹，其中，

该照明装置具有：

输入臂，其接收来自光源的输入光；

第一输出臂；

第二输出臂；

分波器，其使通过了所述输入臂的所述输入光向所述第一输出臂和所述第二输出臂分支；

相位调制器，其使所述第一输出臂的出射光与所述第二输出臂的出射光之间的相位差变化；以及

相位检测器，其根据所述第一输出臂的前端处的第一反射光与所述第二输出臂的前端处的第二反射光合成而得的返回光，检测所述第一输出臂的出射光与所述第二输出臂的出射光之间的相位差；

所述第一输出臂的出射光与所述第二输出臂的出射光之间的初始相位差为π/4，

所述相位检测器包含：

返回光分波部，其具有与所述光源连接的第一端口、与所述输入臂连接的第二端口、以及将从所述输入臂向所述第二端口的输入光输出的第三端口；以及

第一光检测器，其测定来自所述第三端口的输出光的强度。

2.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述分波器包含2×2耦合器，该2×2耦合器具有第二输入路、与所述输入臂连接的第一输入路、与所述第一输出臂连接的第一输出路、以及与所述第二输出臂连接的第二输出路，

所述相位检测器包含第二光检测器，该第二光检测器测定来自所述第二输入路的返回光的强度。

3.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述分波器包含2×2耦合器，该2×2耦合器具有第二输入路、与所述输入臂连接的第一输入路、与所述第一输出臂连接的第一输出路、以及与所述第二输出臂连接的第二输出路，

所述相位检测器还包含第二光检测器，该第二光检测器测定来自所述第二输入路的返回光的强度，该相位检测器根据所述第一光检测器的输出和所述第二光检测器的输出，检测所述相位差。

4.根据权利要求2所述的照明装置，其特征在于，

所述相位检测器还包含：

子分波器，其将与所述2×2耦合器的所述第一输入路对应的返回光分配给所述光源侧的臂和检测用臂；以及

第一光检测器，其测定分配给所述检测用臂的光的强度，

该相位检测器根据所述第一光检测器的输出和所述第二光检测器的输出，检测所述相位差。

5.一种照明装置，其生成干涉条纹，其中，

该照明装置具有：

输入臂，其接收来自光源的输入光；

第一输出臂；

第二输出臂；

分波器，其使通过了所述输入臂的所述输入光向所述第一输出臂和所述第二输出臂分支；

相位调制器，其使所述第一输出臂的出射光与所述第二输出臂的出射光之间的相位差变化；以及

相位检测器，其根据所述第一输出臂的前端处的第一反射光与所述第二输出臂的前端处的第二反射光合成而得的返回光，检测所述第一输出臂的出射光与所述第二输出臂的出射光之间的相位差；

所述第一输出臂的出射光与所述第二输出臂的出射光之间的初始相位差为π/4，

所述光源能够生成波长不同的多个输入光，

所述相位检测器具有：

解复用器，其将所述返回光向与多个波长对应的多个路径分支；以及

多个光检测器，它们测定被所述解复用器分支后的每个波长的光的强度，

该相位检测器根据所述多个光检测器的输出，检测所述相位差。