[发明专利]用于沉积蒸发材料的蒸发源、真空沉积系统和用于沉积蒸发材料的方法

说明书

本文所述的实施方式涉及一种用于在基板上沉积蒸发材料的蒸发源。所述蒸发源包括具有多个喷嘴的分配管，其中所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴包括第一喷嘴区段和第二喷嘴区段，所述第一喷嘴区段被配置为朝向所述基板释放蒸发材料的羽流，所述第二喷嘴区段被配置为对所述蒸发材料羽流塑形。所述第二喷嘴区段具有提供非圆形羽流轮廓的侧壁。根据另一方面，描述了一种真空沉积系统以及一种在基板上沉积蒸发材料的方法。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及在基板上沉积材料并涉及用于在基板上沉积材料(例如，有机材料)的真空沉积系统。本公开内容的实施方式特别涉及用于在基板上并特别是在基本上竖直地取向的基板上沉积蒸发材料(例如，有机材料)的蒸发源。进一步的实施方式涉及在基板上沉积蒸发材料(例如，有机材料)的方法。实施方式特别涉及在基板上沉积像素图案，特别是通过精细金属掩模(fine metal mask,FMM)来进行。

背景技术

有机蒸发器是用于生产有机发光二极管(OLED)的工具。OLED是特殊类型的发光二极管，其中发射层包括某些有机化合物的薄膜。OLED用来制造电视机屏幕、计算机监视器、移动电话和用于显示信息的其它手持装置。OLED也可以用于一般空间照明。OLED显示器的可能的色彩、亮度和视角范围大于传统LCD显示器的可能的色彩、亮度和视角范围，因为OLED像素直接地发射光而无需背光。因此，OLED显示器的能耗远远低于传统LCD显示器的能耗。另外，OLED可被制造到柔性基板上这一事实带来进一步的应用。典型OLED显示器例如可以包括安置在两个电极之间的有机材料层，它们全都以形成具有可单独地激励的像素的矩阵显示面板的方式沉积在基板上。OLED一般放在两个玻璃面板之间，并且玻璃面板的边缘被密封以将OLED封装在其中。

在制造这样的显示装置时遇到许多挑战。OLED显示器或OLED照明应用包括例如在真空系统中蒸发的若干材料的堆叠。有机材料典型地以由荫罩掩模(shaow mask)限定的预定图案沉积。为了高效率地制造OLED，两种或更多种材料(例如，主体和掺杂剂)的共沉积或共蒸发以产生混合/掺杂层是有益的。此外，必须考虑用于蒸发非常敏感的有机材料的若干工艺条件。

为了将材料沉积在基板上，在坩埚中加热材料，直至材料蒸发为止。一个或多个分配管将蒸发材料引导到喷嘴，喷嘴可以设置在分配管的壁中。喷嘴将蒸发材料朝向基板引导。近几年来，沉积工艺的精度已经提高，例如，允许越来越小的像素大小。在一些工艺中，使用掩模来在蒸发材料通过掩模开口时限定像素图案。然而，掩模的阴影效应和蒸发材料的扩散使得难以提高蒸发工艺的精度和可预测性。

鉴于上述，用于制造高质量装置、特别是高质量OLED显示器的蒸发工艺的增加的精度和可预测性将会是有益的。

发明内容

鉴于上述，提供一种用于在基板上沉积蒸发材料的蒸发源、一种真空沉积系统、以及一种用于在基板上沉积蒸发材料的方法。

根据本公开内容的一个方面，提供一种用于在基板上沉积蒸发材料的蒸发源。所述蒸发源包括具有多个喷嘴的分配管，其中所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴具有第一喷嘴区段和第二喷嘴区段，所述第一喷嘴区段被配置为朝向所述基板释放蒸发材料羽流，所述第二喷嘴区段在所述第一喷嘴区段的下游，被配置为对所述蒸发材料羽流塑形。所述第二喷嘴区段具有侧壁，以提供相对于中心喷嘴轴线的非圆形的羽流轮廓。

在一些实施方式中，所述侧壁被配置为限制所述羽流的在垂直于所述中心喷嘴轴线的第一方向上、特别是在基本上竖直的方向上的扩张。可以附加地提供与所述至少一个喷嘴分开的屏蔽装置，用于限制所述羽流的在垂直于所述中心喷嘴轴线的第二方向上、特别是在基本上水平的方向上的扩张。如本文所用的“基本上竖直的”可以涵盖具有相对于重力方向呈10°或更小的角度的方向。如本文所用的“基本上水平的”可以涵盖具有相对于完全地水平的方向呈10°或更小的角度的方向。