[发明专利]溅射靶的加工方法及溅射靶制品的制造方法

说明书

本发明提供一种对溅射靶进行加工的方法，所述方法中，使具有在沿轴的截面中包含圆弧状的凹曲面的刃部的切削工具围绕轴进行旋转，利用刃部的凹曲面，对溅射靶的溅射面与侧面形成的角部进行倒角，以使其接近圆弧状的目标R面，其中，以在沿轴的截面中使刃部的凹曲面的曲率半径Ra大于或等于目标R面的曲率半径Rb、并且使刃部的凹曲面的两端从溅射靶离开的方式，对溅射靶的角部进行倒角。

技术领域

本发明涉及溅射靶的加工方法及溅射靶制品的制造方法。

背景技术

关于溅射靶，已提出了通过机械加工将溅射靶的溅射面与侧面形成的角部倒角为R面的加工方法(专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-40471号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明提供能够使R面接近目标R面的溅射靶加工方法及溅射靶制品的制造方法。

用于解决课题的手段

本发明的溅射靶的加工方法中，使具有在沿轴的截面中包含圆弧状的凹曲面的刃部的切削工具围绕所述轴进行旋转，利用所述刃部的所述凹曲面，对溅射靶的溅射面与侧面形成的角部进行倒角，以使其接近圆弧状的目标R面，从而对所述溅射靶进行加工，其中，

以在所述沿轴的截面中使所述刃部的所述凹曲面的曲率半径Ra大于或等于所述目标R面的曲率半径Rb、并且使所述刃部的所述凹曲面的两端从所述溅射靶离开的方式，对所述溅射靶的角部进行倒角。

通过本发明的溅射靶的加工方法，以在沿轴的截面中使刃部的凹曲面的曲率半径Ra大于或等于目标R面的曲率半径Rb、并且使刃部的凹曲面的两端从溅射靶离开的方式，对溅射靶的角部进行倒角。由此，用刃部的凹曲面切削溅射靶的角部而将其倒角为R面时，能够使R面接近目标R面，并且，能够防止在R面上产生损伤。本加工方法中，通过使刃部的凹曲面的曲率半径Ra大于目标R面的曲率半径Rb，能够更有效地防止在R面上产生损伤。

另外，作为本发明的溅射靶的加工方法，是下述方法，所述加工方法中，使圆板状或圆筒状的溅射靶围绕中心轴进行旋转，利用具有包含截面为圆弧状的凹曲面的刃部的切削工具的所述凹曲面，对旋转的所述溅射靶的溅射面与侧面形成的角部进行倒角，以使其接近圆弧状的目标R面，从而对所述溅射靶进行加工，其中，

以使所述刃部的所述凹曲面的曲率半径Ra大于或等于所述目标R面的曲率半径Rb、并且使所述刃部的所述凹曲面的两端从所述溅射靶离开的方式，对所述溅射靶的角部进行倒角。

通过本发明的溅射靶的加工方法，针对围绕中心轴旋转的圆板状或圆筒状的溅射靶，以使刃部的凹曲面的曲率半径Ra大于或等于目标R面的曲率半径Rb、并且使刃部的凹曲面的两端从溅射靶离开的方式对溅射靶的角部进行倒角。由此，能够高效地进行圆板状或圆筒状的溅射靶的角部的倒角加工，并且，能够防止在R面上产生损伤。本加工方法中，通过使刃部的凹曲面的曲率半径Ra大于目标R面的曲率半径Rb，能够更有效地防止在R面上产生损伤。

在溅射靶的加工方法的一个实施方式中，在以使所述刃部的所述凹曲面的两端从所述溅射靶离开的方式对所述溅射靶的角部进行倒角时，在以目标R的中心点Cb为原点的坐标中，将所述刃部的所述凹曲面的所述曲率半径Ra的第一中心点C1相对于所述目标R面的中心Cb而言的坐标的水平方向和垂直方向的各自的偏移量设为a[mm]时，设定满足下述条件的Ra、Rb、a而进行加工：

对于R面的截距L[mm]，表示为L＝Rb-Ra{1-(Rb-a)²/Ra²}^1/2-a时，Rb/2≤L≤Rb，

并且，对于所述溅射靶的溅射面与所述溅射靶的R面的端部形成的角θ[rad]，