[发明专利]溅射靶的加工方法及溅射靶制品的制造方法

权利要求书

1.溅射靶的加工方法，所述加工方法中，使具有在沿轴的截面中包含圆弧状的凹曲面的刃部的切削工具围绕所述轴进行旋转，利用所述刃部的所述凹曲面，对溅射靶的溅射面与侧面形成的角部进行倒角，以使其接近圆弧状的目标R面，从而对所述溅射靶进行加工，其中，

以在所述沿轴的截面中使所述刃部的所述凹曲面的两端从所述溅射靶离开的方式，对所述溅射靶的角部进行倒角，

在以目标R面的曲率半径Rb的中心点Cb为原点的坐标中，将所述刃部的所述凹曲面的曲率半径Ra的第一中心点C1相对于所述目标R面的曲率半径Rb的中心点Cb而言的坐标的水平方向和垂直方向的各自的偏移量设为a[mm]时，设定满足下述条件的Ra、Rb、a而进行加工：

对于R面的截距L[mm]，

表示为L＝Rb-Ra{1-(Rb-a)²/Ra²}^1/2-a时，Rb/2≤L≤Rb，

并且，对于所述溅射靶的溅射面与所述溅射靶的R面的端部形成的角θ[rad]，

表示为θ＝π/2-cos^-1{1-(Rb-a)²/Ra²}^1/2时，0≤θ≤π/6，

并且，对于所述刃部的凹曲面的端部与所述溅射靶的溅射面的间隔d[mm]，

表示为d＝Ra-Rb+a时，0.05≤d。

2.溅射靶的加工方法，所述加工方法中，使圆板状或圆筒状的溅射靶围绕中心轴进行旋转，利用具有包含截面为圆弧状的凹曲面的刃部的切削工具的所述凹曲面，对旋转的所述溅射靶的溅射面与侧面形成的角部进行倒角，以使其接近圆弧状的目标R面，从而对所述溅射靶进行加工，其中，

以使所述刃部的所述凹曲面的两端从所述溅射靶离开的方式，对所述溅射靶的角部进行倒角，

在以目标R面的曲率半径Rb的中心点Cb为原点的坐标中，将所述刃部的所述凹曲面的曲率半径Ra的第一中心点C1相对于所述目标R面的曲率半径Rb的中心点Cb而言的坐标的水平方向和垂直方向的各自的偏移量设为a[mm]时，设定满足下述条件的Ra、Rb、a而进行加工：

对于R面的截距L[mm]，

表示为L＝Rb-Ra{1-(Rb-a)²/Ra²}^1/2-a时，Rb/2≤L≤Rb，

并且，对于所述溅射靶的溅射面与所述溅射靶的R面的端部形成的角θ[rad]，

表示为θ＝π/2-cos^-1{1-(Rb-a)²/Ra²}^1/2时，0≤θ≤π/6，

并且，对于所述刃部的凹曲面的端部与所述溅射靶的溅射面的间隔d[mm]，

表示为d＝Ra-Rb+a时，0.05≤d。

3.溅射靶制品的制造方法，其中，使用权利要求1或2所述的溅射靶的加工方法对溅射靶进行加工，从而制造溅射靶制品。