[实用新型]一种翻转装置有效
| 申请号: | 201822266695.4 | 申请日: | 2018-12-28 |
| 公开(公告)号: | CN209374420U | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
| 发明(设计)人: | 李久林;雷茜;邓红华;王理林;阳小冬 | 申请(专利权)人: | 深圳眼千里科技有限公司;江西眼千里智能科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/66 |
| 代理公司: | 深圳市鼎泰正和知识产权代理事务所(普通合伙) 44555 | 代理人: | 代春兰 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 翻转台 翻转装置 压紧组件 本实用新型 端面运动 驱动组件 料盘 端面间隔 工件载板 固定工件 固定间隙 接收台 翻转 载板 转动 装载 承载 芯片 | ||
1.一种翻转装置,其特征在于,包括工件载板、翻转台、接收台、压紧组件以及翻转台驱动组件,翻转台用于承载装载芯片的料盘;压紧组件可向着靠近或者远离翻转台的端面运动;压紧组件用于在向着靠近翻转台的端面运动后与翻转台的端面间隔形成用于固定工件载板的固定间隙;翻转台驱动组件用于带动翻转台转动至接收台上。
2.如权利要求1所述的翻转装置,其特征在于,压紧组件包括压紧臂以及压紧臂气缸,压紧臂包括驱动臂段以及压臂段;压紧臂气缸的缸体固定于翻转台的底端,压紧臂气缸的活塞杆沿翻转台的宽度方向延伸并与驱动臂段的底端固定;驱动臂段的顶端与压臂段连接;压紧臂位于翻转台的上方并用于与翻转台的端面形成所述固定间隙。
3.如权利要求1所述的翻转装置,其特征在于,翻转台驱动组件包括翻转电机以及转动轴,转动轴的轴线沿水平方向延伸;转动轴枢接于机体上并与翻转电机的转轴同步联接;翻转台与接收台位于转动轴的两侧;翻转台与转动轴联接。
4.如权利要求3所述的翻转装置,其特征在于,翻转台驱动组件还可包括同步带、两个同步轮,两个同步轮均枢接于机体上并沿机体的高度方向间隔分布;同步带的两端分别绕设于两个同步轮上;其中一个同步轮与机体的转轴联接;所述转动轴与另一个同步轮联接。
5.如权利要求1所述的翻转装置,其特征在于,所述翻转台的两侧均设有至少两个所述压紧组件。
6.如权利要求1所述的翻转装置,其特征在于,工件载板上设有多个工件槽。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





