[实用新型]一种压力旋涂仪

权利要求书

1.一种压力旋涂仪，其特征在于，包括带进料口和出料口的加料装置、与加料装置的出料口通过管道连通的旋涂磨头以及与旋涂磨头连接的磨头转速控制器；所述加料装置的出料口设有加料量调节器和流速调节器；所述旋涂磨头上设有磨头高度调节器和压力传感器。

2.根据权利要求1所述的压力旋涂仪，其特征在于，所述流速调节器包括通过气管与所述管道连通的空气压缩机以及设置在所述气管上的气压调节器。

3.根据权利要求1所述的压力旋涂仪，其特征在于，所述磨头转速控制器包括电机、设置在电机上的电机转速控制器、通过电机驱动的主动轮以及通过皮带与主动轮连接的从动轮，所述从动轮与旋涂磨头连接。

4.根据权利要求3所述的压力旋涂仪，其特征在于，所述压力旋涂仪还包括基座以及固定在基座上的磨头方向调节器，所述磨头方向调节器与所述磨头转速控制器连接。

5.根据权利要求4所述的压力旋涂仪，其特征在于，所述磨头方向调节器由第一锥齿轮、与第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮以及与第二锥齿轮连接的活动接头组成，所述第一锥齿轮的轴线与第二锥齿轮的轴线垂直，所述第一锥齿轮固定在基座上，所述活动接头与所述电机连接。