[实用新型]一种用于晶圆的自动分离机

权利要求书

1.一种用于晶圆的自动分离机，包括设有旋转台（1）的工作台面（2），其特征在于：所述工作台面（2）上分设下垫片上料工位（3）、垫片喷液工位（4）、晶圆上料工位（5）、晶圆喷液工位（6）、上垫片上料工位（7）以及碾压工位（8），于所述旋转台（1）上周向均布至少6个承片盘（10），承片盘（10）随旋转台（1）转动并依次通过下垫片上料工位（3）、垫片喷液工位（4）、晶圆上料工位（5）、晶圆喷液工位（6）、上垫片上料工位（7）以及碾压工位（8）。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的自动分离机，其特征在于：所述下垫片上料工位（3）和上垫片上料工位（7）均由移动气缸（11）、真空吸附器（12）以及装片盒（13）组成，装片盒（13）设于工作台面（2）上，移动气缸（11）通过支撑件（14）设于工作台面（2）上并带动真空吸附器（12）移动。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的自动分离机，其特征在于：所述垫片喷液工位（4）和晶圆喷液工位（6）上均设有喷嘴（15），喷嘴（15）上设喷液电磁阀（16），喷嘴（15）通过连接管（17）接于储液器。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的自动分离机，其特征在于：所述晶圆上料工位（5）包括上料舟（18）和上料机械手（19），上料舟（18）设于工作台面（2）上，上料机械手（19）通过固定架（20）设于工作台面（2）上。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的自动分离机，其特征在于：所述碾压工位（8）包括碾压台（21）和绝缘棒（22），碾压台（21）上设供绝缘棒（22）移动的滑槽（23），工作台面（2）上设支架（24），碾压台（21）转动接于支架（24）上，支架（24）上设控制碾压台（21）转动和绝缘棒（22）移动的驱动机构。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的自动分离机，其特征在于：在所述工作台面（2）上设下料工位（9），承片盘（10）随旋转台（1）转动通过碾压工位（8）后再通过下料工位（9），下料工位（9）包括下料舟（25）和下料机械手（26），下料舟（25）设于工作台面（2）上，下料机械手（26）通过固定架（20）设于工作台面（2）上。