[实用新型]一种平板制程用喷胶段自动配液系统

权利要求书

1.一种平板制程用喷胶段自动配液系统，其特征在于，包括助剂配送装置、硅烷配送装置、IPA原液配送装置、水配送装置、缓冲罐和标准储存容器，助剂配送装置、硅烷配送装置、原液配送装置和水配送装置分别通过管路可控计量地接入缓冲罐的进液口，所述缓冲罐的出液口再与标准储存容器相连，其中，所述缓冲罐的底部通入氮气鼓泡装置的送气头，用于吹动搅拌缓冲罐内的药液。

2.根据权利要求1所述的平板制程用喷胶段自动配液系统，其特征在于，助剂配送装置包括电动丝杆、助剂存放管和柱塞，柱塞设置在助剂存放管中并与助剂存放管滑动配合，所述电动丝杆与柱塞相平行地设置，柱塞通过连接杆与电动丝杆固定连接，电动丝杆带动柱塞运动推送助剂至所述缓冲罐。

3.根据权利要求2所述的平板制程用喷胶段自动配液系统，其特征在于，助剂存放管的顶端设置有可开合的助剂添加口，在助剂存放管上设置有进气孔，所述进气孔与外部的氮气源通过进气管进行连接。

4.根据权利要求1所述的平板制程用喷胶段自动配液系统，其特征在于，硅烷配送装置包括密封罐，密封罐内设置有存放硅烷原液的硅烷储液瓶，硅烷储液瓶中设置有与缓冲罐相连通的出液管，所述密封罐上开设有用于注入氮气的加压气口，在所述出液管上设置有用于计量的计量泵。

5. 根据权利要求1所述的平板制程用喷胶段自动配液系统，其特征在于，IPA原液配送装置包括IPA原液桶、IPA原液暂存罐、第一液位传感器和输送管，输送管联通IPA原液桶和暂存罐， 在泵浦作用抽取IPA原液送至IPA原液暂存罐，用于监测原液存量的第一液位传感器竖直设置在IPA原液暂存罐中，所述IPA原液暂存罐再与缓冲罐相联通，用于进行IPA原液的可控灌注。

6.根据权利要求1所述的平板制程用喷胶段自动配液系统，其特征在于，水配送装置包括水暂存罐和第二液位传感器，用于监测水存量的第二液位传感器竖直设置水暂存罐中，所述水暂存罐再与缓冲罐相联通，用于进行水的可控灌注。