[实用新型]一种用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置有效
| 申请号： | 201822247288.9 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN209087802U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 陈朝星 | 申请（专利权）人： | 上海福赛特机器人有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;尹一凡 |
| 地址： | 200233 上海市徐汇区虹梅*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 夹爪 本实用新型 洁净环境 检测器 刚性连接方式 同步带传动 定位标记 定位过程 粉尘问题 旋转电机 中心旋转 夹爪夹 盘绕 边部 产能 传动 固接 夹紧 制程 节拍 转动 自动化 洁净 驱动 检测 | ||
1.一种用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，包括：
多个夹爪，用于从侧部对圆盘进行夹紧；
旋转电机，固接所述夹爪，用于驱动所述夹爪转动，带动所述夹爪夹持的圆盘绕其中心旋转；
检测器，用于对旋转中的所述圆盘的边部上设有的定位标记进行寻找识别，以对所述圆盘的旋转角度进行检测。
2.根据权利要求1所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述夹爪为三个，其围绕所述圆盘的边部设置。
3.根据权利要求1所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述夹爪为气动夹爪。
4.根据权利要求1所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述旋转电机通过齿轮传动机构与一减速机直接转动连接，所述减速机固接所述夹爪。
5.根据权利要求1所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述旋转电机通过涡轮蜗杆机构与一减速机直接转动连接，所述减速机固接所述夹爪。
6.根据权利要求4或5所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述减速机为中空减速机，所述夹爪为气动夹爪，所述气动夹爪连接气缸，所述气缸容于所述减速机的中空腔体中。
7.根据权利要求6所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述减速机和旋转电机分设于一底座的上、下两面上。
8.根据权利要求7所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述底座上设有支架，所述检测器设于支架的上端。
9.根据权利要求8所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述检测器为激光传感器。
10.根据权利要求1所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述电机为伺服电机。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
