[实用新型]用于冷阱的在线检测系统

说明书

本公开涉及一种用于冷阱的在线检测系统。所述冷阱中设置有冷凝装置，所述检测系统包括：超声波发生器，与所述冷凝装置连接，用于在所述冷凝装置的第一预定位置处输入超声波信号；超声波接收器，与所述冷凝装置连接，用于在所述冷凝装置的第二预定位置处接收超声波信号；示波器，与所述超声波接收器连接，用于将所述超声波接收器接收的超声波信号进行输出。这样，能够随时监控冷凝管上的附着量程度，方法简单，准确性高。

技术领域

本公开涉及真空蒸镀领域，具体地，涉及一种用于冷阱的在线检测系统。

背景技术

蒸镀是将材料在真空环境中加热，使之气化并沉积到基片而获得薄膜材料的方法，又称为真空蒸镀或真空镀膜。真空蒸镀装置由真空抽气系统和蒸镀腔室组成。

其中，真空抽气系统由高真空泵、低真空泵、排气管道和阀门等组成。此外，还附有冷阱和真空测量计等。蒸镀腔室大多用不锈钢制成。在蒸镀腔室内配有真空蒸镀时不可缺少的蒸发源、基片和蒸发空间。此外，还置有控制蒸发原子流的挡板，测量膜厚并用来监控薄膜生长速率的膜厚计，测量蒸镀腔室的真空变化和蒸发时剩余气体压力的高真空计，以及控制薄膜生长形态和结晶性的基片温度调节器等。

冷阱置于蒸镀腔室和抽真空系统之间，它能提供一个非常低温的表面，在此表面上，分子能够凝聚，并能提高一至二个数量级的真空度。冷肼是在冷却的表面上以凝结方式吸附气体或捕集油蒸汽的装置，可以防止油蒸汽的返流。

当冷阱使用一段时间后，其中的冷凝管上会附着一定厚度的物质。例如，在用于制作CIGS薄膜太阳能电池使用的冷阱中，会附着一定的硒化物。冷凝管需要定期进行维护，清理上面的附着物，以使冷阱能够维持一定的有效性。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种简便、有效的用于冷阱的在线检测系统。

为了实现上述目的，本公开提供一种用于冷阱的在线检测系统，所述冷阱中设置有冷凝装置，所述检测系统包括：超声波发生器，与所述冷凝装置连接，用于在所述冷凝装置的第一预定位置处输入超声波信号；超声波接收器，与所述冷凝装置连接，用于在所述冷凝装置的第二预定位置处接收超声波信号；示波器，与所述超声波接收器连接，用于将所述超声波接收器接收的超声波信号进行输出。

可选地，所述超声波发生器通过第一超声波探头与所述冷凝装置连接，所述超声波接收器包括第二超声波探头。

可选地，所述冷凝装置为螺旋状的冷凝管，所述第一预定位置为所述冷凝装置的中心位置，所述第二预定位置为所述冷凝装置的两端中的任意一端。

可选地，所述第一超声波探头与所述冷凝装置通过卡箍连接，所述第二超声波探头与所述冷凝装置通过卡箍连接。

可选地，所述冷阱包括多个冷凝装置，所述多个冷凝装置分别设置在从多个方向分别与所述蒸镀腔室连通的多个管道中。

可选地，所述多个方向在所述蒸镀腔室的周围均匀分布。

可选地，所述检测系统还包括：处理器，与所述示波器连接，用于将所述超声波接收器接收的超声波信号与预设的超声波信号进行比对，生成第一比对结果；显示器，与所述处理器连接，用于显示所述第一比对结果。

可选地，所述检测系统还包括：输出装置，与所述处理器连接，用于输出与所述第一比对结果对应的提示消息。

通过上述技术方案，利用超声波在不同介质条件下的传导性差异来衡量冷阱中冷凝管上的附着量程度。这样，能够随时监控冷凝管上的附着量程度，方法简单，准确性高。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：