[实用新型]用于冷阱的在线检测系统有效
| 申请号： | 201822244339.2 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN210243577U | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 徐义;岳志远 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/12 | 分类号： | G01N29/12;G01N29/44;G01N29/48 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 王晓霞;魏嘉熹 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 在线 检测 系统 | ||
1.一种用于冷阱的在线检测系统，其特征在于，所述冷阱中设置有与蒸镀腔室连通的冷凝装置，所述检测系统包括：
超声波发生器，与所述冷凝装置连接，用于在所述冷凝装置的第一预定位置处输入超声波信号；
超声波接收器，与所述冷凝装置连接，用于在所述冷凝装置的第二预定位置处接收超声波信号；
示波器，与所述超声波接收器连接，用于将所述超声波接收器接收的超声波信号进行输出。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述超声波发生器通过第一超声波探头与所述冷凝装置连接，所述超声波接收器包括第二超声波探头。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述冷凝装置为螺旋状的冷凝管，所述第一预定位置为所述冷凝装置的中心位置，所述第二预定位置为所述冷凝装置的两端中的任意一端。
4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述第一超声波探头与所述冷凝装置通过卡箍连接，所述第二超声波探头与所述冷凝装置通过卡箍连接。
5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述冷阱包括多个冷凝装置，所述多个冷凝装置分别设置在从多个方向分别与所述蒸镀腔室连通的多个管道中。
6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述多个方向在所述蒸镀腔室的周围均匀分布。
7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述检测系统还包括：
处理器，与所述示波器连接，用于将所述超声波接收器接收的超声波信号与预设的超声波信号进行比对，生成第一比对结果；
显示器，与所述处理器连接，用于显示所述第一比对结果。
8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述检测系统还包括：
输出装置，与所述处理器连接，用于输出与所述第一比对结果对应的提示消息。
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