[实用新型]一种用于片状物的搬运装置

说明书

本实用新型公开了一种用于片状物的搬运装置，包括一吸盘，所述吸盘的吸附面上设有多个突起的软性触点，所述触点用于在所述吸盘吸附片状物时接触片状物表面，防止在所述吸盘的吸附面与片状物之间产生漂移。本实用新型可以精准地进行点对点的搬运工作，能够增加搬运机构的搬运精度，且在搬运时不需要对晶圆中心进行定位，对于高精度的搬运目的也能更好地应对。

技术领域

本实用新型涉及物品搬运设备技术领域，更具体地，涉及一种用于片状物的搬运装置。

背景技术

在例如半导体行业的自动化制程中，经常需要将片状的晶圆从一个固定点搬运到另一个固定点。在搬运过程中，需要有很高的定位精度要求，对到位的准确性也有很高的要求。

目前，一般采用的方式，是利用搬运机构，在搬运机构上直接对晶圆进行中心定位，定位准确后再将晶圆搬运并放置在目标地点。

然而，上述的搬运方式，需要搬运机构和定位机构之间具有很高的相对精度，并且不能在搬运的时候产生相对位置的漂移。因此，对前后工序之间的配合要求都很高，存在很大的应用局限性。并且，在整个自动化流程中，还会对其余各工位的节拍产生牵制。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种用于片状物的搬运装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于片状物的搬运装置，其特征在于，包括一吸盘，所述吸盘的吸附面上设有多个突起的软性触点，所述触点用于在所述吸盘吸附片状物时接触片状物表面，防止在所述吸盘的吸附面与片状物之间产生漂移。

进一步地，所述触点均匀设于所述吸盘吸附面的外周上。

进一步地，所述触点为三个，以120°夹角均匀设于所述吸盘吸附面的外周上

进一步地，所述触点为软性橡胶触点。

进一步地，所述吸盘为伯努利式吸盘。

进一步地，所述伯努利式吸盘的吸附面上设有气隙，用于在吸附片状物时，在所述吸盘的吸附面与片状物之间产生低压气流。

进一步地，还包括机器人连接手臂，所述吸盘设于机器人连接手臂末端，所述机器人连接手臂连接机器人。

进一步地，还包括OCR识别器，设于所述吸盘附近的所述机器人连接手臂上。

进一步地，还包括片状物位置检测器，设于所述吸盘附近的所述机器人连接手臂上。

进一步地，所述片状物为晶圆。

从上述技术方案可以看出，本实用新型通过采用点接触式吸盘，由于接触点的材料原因，柔软不划伤，可以接触半导体晶圆表面，完全不会损伤晶圆表面镀层，符合生产标准，并可运用三点最小的接触数来保证晶圆的安全。本实用新型的点接触结构方式，可以尽可能地降低吸附距离，接触后不会产生漂移问题，可以精准地进行点对点的搬运工作。本实用新型能够增加搬运机构的搬运精度，且在搬运时不需要对晶圆中心进行定位，对于高精度的搬运目的也能更好地应对。

附图说明

图1是本实用新型一较佳实施例的一种伯努利式吸盘结构示意图。

图2是本实用新型一较佳实施例的一种伯努利式吸盘的吸附面结构示意图。

图3是本实用新型一较佳实施例的一种用于片状物的搬运装置结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。