[实用新型]一种用于片状物的搬运装置有效
| 申请号： | 201822241845.6 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN209321999U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 管奕霖 | 申请（专利权）人： | 上海福赛特机器人有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 200233 上海市徐汇区虹梅*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 片状物 吸盘 搬运 本实用新型 搬运装置 触点 漂移 搬运机构 晶圆中心 吸盘吸附 点对点 接触片 吸附面 突起 软性 吸附 状物 | ||
1.一种用于片状物的搬运装置，其特征在于，包括一吸盘，所述吸盘的吸附面上设有多个突起的软性触点，所述触点用于在所述吸盘吸附片状物时接触片状物表面，防止在所述吸盘的吸附面与片状物之间产生漂移。
2.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述触点均匀设于所述吸盘吸附面的外周上。
3.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述触点为三个，以120°夹角均匀设于所述吸盘吸附面的外周上。
4.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述触点为软性橡胶触点。
5.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述吸盘为伯努利式吸盘。
6.根据权利要求5所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述伯努利式吸盘的吸附面上设有气隙，用于在吸附片状物时，在所述吸盘的吸附面与片状物之间产生低压气流。
7.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，还包括机器人连接手臂，所述吸盘设于机器人连接手臂末端，所述机器人连接手臂连接机器人。
8.根据权利要求7所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，还包括OCR识别器，设于所述吸盘附近的所述机器人连接手臂上。
9.根据权利要求7所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，还包括片状物位置检测器，设于所述吸盘附近的所述机器人连接手臂上。
10.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述片状物为晶圆。
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