[实用新型]用于差压测量的压力敏感元件封装

权利要求书

1.一种用于差压测量的压力敏感元件封装，其特征在于，包括壳体(1)、容腔机构、孔部机构以及引脚(5)；

所述壳体(1)上设置有固定台阶(11)；

所述壳体(1)设置有通孔；

所述引脚(5)的一端经所述通孔延伸至容腔机构内；

所述引脚(5)的另一端延伸出至壳体(1)的外部；

所述孔部机构设置在壳体(1)的侧壁上；

其中，所述孔部机构包括注油孔(6)、气孔(7)；

所述气孔(7)设置在壳体(1)的一个侧壁上；所述注油孔(6)设置在壳体(1)的另一个侧壁上。

2.根据权利要求1所述的用于差压测量的压力敏感元件封装，其特征在于，还包括声表面波器件(3)；

所述固定台阶(11)构成声表面波器件(3)的支撑部。

3.根据权利要求1所述的用于差压测量的压力敏感元件封装，其特征在于，所述容腔机构包括保护腔(8)；

所述注油孔(6)与保护腔(8)相连通；

所述注油孔(6)的一孔口径壳体(1)的侧壁伸出至壳体(1)外部；

所述注油孔(6)的另一孔口深入至保护腔(8)内；

所述注油孔(6)与保护腔(8)构成液体容纳引流空间；

所述注油孔(6)的数量、保护腔(8)的数量均为多个。

4.根据权利要求2所述的用于差压测量的压力敏感元件封装，其特征在于，还包括信号焊盘(31)、固定焊盘(32)；

所述声表面波器件(3)设置在信号焊盘(31)的上部；

所述引脚(5)的一端与信号焊盘(31)的下部连接；

所述固定焊盘(32)设置在声表面波器件(3)与固定台阶(11)之间。

5.根据权利要求1所述的用于差压测量的压力敏感元件封装，其特征在于，所述引脚(5)的数量为多个；

其中两个引脚(5)设置在壳体(1)的一个侧壁上；

另两个引脚(5)设置在壳体(1)的另一个侧壁上；

所述气孔(7)设置在其中两个引脚(5)之间。

6.根据权利要求3所述的用于差压测量的压力敏感元件封装，其特征在于，多个所述注油孔(6)分别设置在引脚(5)的两侧；

多个所述保护腔(8)分别设置在壳体(1)的两侧；

所述保护腔(8)的一侧设置有声表面波器件(3)；

所述保护腔(8)的另一侧设置有弹性金属膜片(2)。

7.根据权利要求1所述的用于差压测量的压力敏感元件封装，其特征在于，所述通孔内设置有绝缘子(4)。

8.根据权利要求4所述的用于差压测量的压力敏感元件封装，其特征在于，所述容腔机构，还包括器件腔(9)；

所述引脚(5)的一端经所述通孔延伸至器件腔(9)内；

所述信号焊盘(31)、引脚(5)的一端均设置在器件腔(9)内；

所述壳体(1)的侧壁、声表面波器件(3)的一侧构成器件腔(9)的腔壁。

9.根据权利要求6所述的用于差压测量的压力敏感元件封装，其特征在于，所述弹性金属膜片(2)、壳体(1)的侧壁以及声表面波器件(3)的另一侧构成保护腔(8)的腔壁。