[实用新型]一种薄膜晶片分离装置有效
申请号: | 201822235096.6 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN209571389U | 公开(公告)日: | 2019-11-01 |
发明(设计)人: | 申兵兵;邹金成 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 102200 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 吸板 固定座 顶升组件 薄膜 本实用新型 旋转驱动件 薄膜晶片 分离装置 锁紧组件 旋转组件 连接端 晶片 吸附 太阳能电池技术 锁紧固定 吸附晶片 向上运动 转动连接 下表面 自由端 产能 破解 成功率 转动 驱动 失败 自由 | ||
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种薄膜晶片分离装置,包括吸附旋转组件、顶升组件和锁紧组件,吸附旋转组件包括吸板、固定座和旋转驱动件,吸板的一端为连接端,一端为自由端,连接端与固定座转动连接,吸板的下表面用于吸附晶片上的薄膜;顶升组件位于自由端的下方,顶升组件带动吸板向上运动,使得薄膜与晶片部分分离;锁紧组件设置于固定座上,用于将吸板锁紧固定,旋转驱动件与固定座连接,以驱动固定座带动吸板转动。本实用新型设置顶升组件来辅助分离,破解薄膜与晶片之间的液体张力,可以有效提高分离的成功率,减少分离失败引起的时间浪费,提高产能。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种薄膜晶片分离装置。
背景技术
现有技术的薄膜晶片分离机构通过电机带动转轴上的真空吸盘旋转,从而使真空晶片叉吸附的晶片和真空吸盘上吸附的薄膜分离。因为薄膜和晶片的表面有残余的液体,当液体进入真空管路后,吸板对薄膜和晶片的实际吸力比理论值要小,同时薄膜和晶片之间有液体张力,如果液体张力大于分离时吸板对薄膜的翻转力,那么就会造成不能分开薄膜和晶片,也即分离失败。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题薄膜和晶片之间存在液体张力,现有的薄膜晶片分离装置对薄膜的翻转力不足以克服液体张力时,会导致分离失败的问题。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种薄膜晶片分离装置,包括吸附旋转组件、顶升组件和锁紧组件,所述吸附旋转组件包括吸板、固定座和旋转驱动件,所述吸板的一端为连接端,一端为自由端,所述连接端与所述固定座转动连接,所述吸板的下表面用于吸附晶片上的薄膜;所述顶升组件位于所述自由端的下方,所述顶升组件带动所述吸板向上运动,使得所述薄膜与所述晶片部分分离;所述锁紧组件设置于所述固定座上,用于将所述吸板锁紧固定,所述旋转驱动件与所述固定座连接,以驱动所述固定座带动所述吸板转动。
其中,所述锁紧组件包括锁紧板和第一驱动件,所述锁紧板设置于所述吸板的外侧,平行于所述吸板的所述自由端至所述连接端连线方向,所述锁紧板具有锁紧所述吸板的锁紧状态和解锁所述吸板的解锁状态,所述第一驱动件固定在所述固定座上,且与所述锁紧板连接,以驱动所述锁紧板锁紧所述吸板或解锁所述吸板。
其中,所述锁紧板上设有锁紧槽,所述吸板上设有与所述锁紧槽相配合的凸起,所述第一驱动件驱动所述锁紧板前进或后退,使所述凸起嵌入或退出所述锁紧槽。
其中,所述锁紧槽为L型槽,包括横段槽与竖段槽,所述第一驱动件驱动所述锁紧板前进时,所述凸起进入所述横段槽中使所述锁紧板锁紧所述吸板,所述第一驱动件驱动所述锁紧板后退时,所述凸起退出所述横段槽进入所述竖段槽使所述吸板解锁,所述顶升组件顶起所述吸板时,所述凸起可沿所述竖段槽移动。
其中,所述固定座上设有翻转座和/或第一驱动件安装板,所述第一驱动件固定于所述翻转座和/或所述第一驱动件安装板上。
其中,所述锁紧组件还包括安装板,所述第一驱动件通过所述安装板与所述锁紧板连接,所述安装板上设有导向杆,所述固定座上设有滑套,所述导向杆沿轴向穿过所述滑套,并可沿所述滑套移动。
其中,所述锁紧板与所述吸板之间设有固定板,所述固定板固定于所述固定座上,所述固定板上设有与所述凸起位置配合的凹槽,所述凸起可沿所述凹槽中移动。
其中,所述旋转驱动件包括第二驱动件和转轴,所述第二驱动件与所述转轴连接并驱动所述转轴转动,所述固定座与所述转轴通过翻转座连接。
其中,所述转轴的端部设有检测所述转轴旋转角度的角度传感器。
其中,所述第一驱动件为气缸,所述第二驱动件为电机,所述电机通过联轴器与所述转轴连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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