[实用新型]一种薄膜晶片分离装置

权利要求书

1.一种薄膜晶片分离装置，其特征在于：包括吸附旋转组件、顶升组件和锁紧组件，所述吸附旋转组件包括吸板、固定座和旋转驱动件，所述吸板的一端为连接端，一端为自由端，所述连接端与所述固定座转动连接，所述吸板的下表面用于吸附晶片上的薄膜；所述顶升组件位于所述自由端的下方，所述顶升组件带动所述吸板向上运动，使得所述薄膜与所述晶片部分分离；所述锁紧组件设置于所述固定座上，用于将所述吸板锁紧固定，所述旋转驱动件与所述固定座连接，以驱动所述固定座带动所述吸板转动。

2.根据权利要求1所述的薄膜晶片分离装置，其特征在于：所述锁紧组件包括锁紧板和第一驱动件，所述锁紧板设置于所述吸板的外侧，平行于所述吸板的所述自由端至所述连接端连线方向，所述锁紧板具有锁紧所述吸板的锁紧状态和解锁所述吸板的解锁状态，所述第一驱动件固定在所述固定座上，且与所述锁紧板连接，以驱动所述锁紧板锁紧所述吸板或解锁所述吸板。

3.根据权利要求2所述的薄膜晶片分离装置，其特征在于：所述锁紧板上设有锁紧槽，所述吸板上设有与所述锁紧槽相配合的凸起，所述第一驱动件驱动所述锁紧板前进或后退，使所述凸起嵌入或退出所述锁紧槽。

4.根据权利要求3所述的薄膜晶片分离装置，其特征在于：所述锁紧槽为L型槽，包括横段槽与竖段槽，所述第一驱动件驱动所述锁紧板前进时，所述凸起进入所述横段槽中使所述锁紧板锁紧所述吸板，所述第一驱动件驱动所述锁紧板后退时，所述凸起退出所述横段槽进入所述竖段槽使所述吸板解锁，所述顶升组件顶起所述吸板时，所述凸起可沿所述竖段槽移动。

5.根据权利要求2所述的薄膜晶片分离装置，其特征在于：所述固定座上设有翻转座和/或第一驱动件安装板，所述第一驱动件固定于所述翻转座和/或所述第一驱动件安装板上。

6.根据权利要求2所述的薄膜晶片分离装置，其特征在于：所述锁紧组件还包括安装板，所述第一驱动件通过所述安装板与所述锁紧板连接，所述安装板上设有导向杆，所述固定座上设有滑套，所述导向杆沿轴向穿过所述滑套，并可沿所述滑套移动。

7.根据权利要求3所述的薄膜晶片分离装置，其特征在于：所述锁紧板与所述吸板之间设有固定板，所述固定板固定于所述固定座上，所述固定板上设有与所述凸起位置配合的凹槽，所述凸起可沿所述凹槽中移动。

8.根据权利要求1所述的薄膜晶片分离装置，其特征在于：所述旋转驱动件包括第二驱动件和转轴，所述第二驱动件与所述转轴连接并驱动所述转轴转动，所述固定座与所述转轴通过翻转座连接。

9.根据权利要求8所述的薄膜晶片分离装置，其特征在于：所述转轴的端部设有检测所述转轴旋转角度的角度传感器。

10.根据权利要求1所述的薄膜晶片分离装置，其特征在于：还包括晶片叉，所述晶片叉设置于所述吸板的下方，以承托所述晶片。