[实用新型]石墨烯金属复合粉体连续生长设备

权利要求书

1.一种石墨烯金属复合粉体连续生长设备，其特征在于：包括依次相连的进样室(1)、CVD管式炉(2)和降温室(3)，还包括真空机组(11)、供气系统(8)和加热装置(4)，所述真空机组(11)和供气系统(8)均分别与进样室(1)、CVD管式炉(2)和降温室(3)连接，所述加热装置(4)与CVD管式炉(2)连接，所述CVD管式炉(2)与进样室(1)之间的连通口处设有第一真空挡板阀(6)，CVD管式炉(2)与降温室(3)之间的连通口处设有第二真空挡板阀(15)。

2.根据权利要求1所述的石墨烯金属复合粉体连续生长设备，其特征在于：还包括相适配的射频电源(9)和射频等离子体发生器(5)，所述射频等离子体发生器(5)与CVD管式炉(2)连接。

3.根据权利要求1所述的石墨烯金属复合粉体连续生长设备，其特征在于：所述进样室(1)和CVD管式炉(2)内设有用于两者之间传样的第一真空磁力传样杆(7)，所述CVD管式炉(2)和降温室(3)内设有用于两者之间传样的第二真空磁力传样杆(16)。

4.根据权利要求1所述的石墨烯金属复合粉体连续生长设备,其特征在于：所述CVD管式炉(2)的外壁上设有位于CVD管式炉(2)两端的两个冷却装置(14)，所述两个冷却装置(14)分别与第一真空挡板阀(6)和第二真空挡板阀(15)连接。

5.根据权利要求1所述的石墨烯金属复合粉体连续生长设备,其特征在于：所述CVD管式炉(2)通过多个耐温进气管道(13)对应与多路供气系统(8)连接，所述耐温进气管道(13)贯穿CVD管式炉(2)的侧壁并与CVD管式炉(2)的内部连通。

6.根据权利要求5所述的石墨烯金属复合粉体连续生长设备,其特征在于：所述加热装置(4)安装在CVD管式炉(2)的外壁上，且加热装置(4)设有用于避让多个耐温进气管道(13)的多个避让孔。

7.根据权利要求5所述的石墨烯金属复合粉体连续生长设备,其特征在于：每个耐温进气管道(13)在与供气系统(8)相连接处均设有流量控制器。

8.根据权利要求1所述的石墨烯金属复合粉体连续生长设备,其特征在于：所述CVD管式炉(2)的内壁上安装有位于CVD管式炉(2)两端的两个隔热装置(12)，所述隔热装置(12)与CVD管式炉(2)两端的连通口对齐。

9.根据权利要求1所述的石墨烯金属复合粉体连续生长设备,其特征在于：所述CVD管式炉(2)的两端各开有一个排气口(17)。

10.根据权利要求5所述的石墨烯金属复合粉体连续生长设备,其特征在于：所述多个耐温进气管道(13)由石英制成或由金属制成，所述多个耐温进气管道(13)呈规则排列。