[实用新型]氧化炉管

权利要求书

1.一种氧化炉管，其特征在于，所述氧化炉管包括：管体、延伸至所述管体中的喷淋管和氮气管以及安装于所述管体中的挡板；

所述喷淋管的一端延伸至所述管体中，所述喷淋管位于所述管体中的部分开设有多个与所述管体内部相连通的喷淋孔，多个喷淋孔沿所述喷淋管的延伸方向间隔排布，多个喷淋孔具有喷淋区域，所述喷淋区域覆盖所述管体中石英舟的放置区域，所述石英舟的放置区域与所述管体中的尾端由所述挡板所隔离，所述氮气管的一端连接至所述管体的端面上，并与所述管体内部相连通。

2.根据权利要求1所述的氧化炉管，其特征在于，多个喷淋孔以阵列方式开设于所述喷淋管的表面上。

3.根据权利要求2所述的氧化炉管，其特征在于，任一排喷淋孔中具有第一尺寸的喷淋孔和第二尺寸的喷淋孔，所述第一尺寸大于第二尺寸，任一第一尺寸的喷淋孔的两侧设置有所述第二尺寸的喷淋孔。

4.根据权利要求3所述的氧化炉管，其特征在于，所述第一尺寸为2mm，第二尺寸为1.5mm。

5.根据权利要求1所述的氧化炉管，其特征在于，所述挡板与所述管体的内侧壁相垂直，且所述挡板与所述管体一体成型。

6.根据权利要求1所述的氧化炉管，其特征在于，所述氧化炉管还包括测温管，所述测温管的一端延伸至所述管体中的石英舟的放置区域。