[实用新型]非接触式高度补偿装置有效

申请号：	201822205860.5	申请日：	2018-12-26
公开（公告）号：	CN209016042U	公开（公告）日：	2019-06-21
发明（设计）人：	邱鸿毅;施心星;张文;李斌	申请（专利权）人：	苏州镭明激光科技有限公司
主分类号：	H01L21/687	分类号：	H01L21/687;H01L21/68;H01L21/66
代理公司：	苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 32289	代理人：	高玉蓉
地址：	215000 江苏省苏州市工业园区金鸡***	国省代码：	江苏;32
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：
搜索关键词：	调节装置加工平台多轴定位支架高度补偿装置非接触式引导组件传感器衔接数据处理装置双向驱动装置本实用新型高精度调节工作端三轴干预检测
钻瓜网技术展会专利词库专利权人专利榜在售专利公布日期热门专利

【权利要求书】：

1.非接触式高度补偿装置，包括有衔接定位支架，其特征在于：所述衔接定位支架上安装有Z轴引导组件，所述Z轴引导组件上设置有多轴调节装置，所述多轴调节装置上安装有加工平台，所述加工平台上安装有传感器，所述传感器上设置有数据处理装置，所述衔接定位支架上安装有Z轴驱动装置，所述Z轴驱动装置的工作端与多轴调节装置相连，多轴调节装置为XY轴双向驱动装置，包括有X轴导轨，所述X轴导轨上安装有X轴滑块，所述X轴滑块上连接有X轴驱动装置，所述X轴滑块上安装有Y轴导轨，所述加工平台的底部与Y轴导轨相连，所述加工平台上连接有Y轴驱动装置。

2.根据权利要求1所述的非接触式高度补偿装置，其特征在于：所述Z轴引导组件为两条镜像分布的Z轴导轨，所述Z轴导轨上设置有定位孔，通过定位螺钉穿过定位孔后与衔接定位支架相连。

3.根据权利要求1所述的非接触式高度补偿装置，其特征在于：所述Z轴驱动装置、X轴驱动装置、Y轴驱动装置均为微动电机。

4.根据权利要求1所述的非接触式高度补偿装置，其特征在于：所述传感器为激光位移传感器。

5.根据权利要求1所述的非接触式高度补偿装置，其特征在于：所述加工平台为大理石横板，所述大理石横板上分布有若干衔接孔。

6.根据权利要求1所述的非接触式高度补偿装置，其特征在于：所述数据处理装置包括有装置本体，所述装置本体内设置有MCU或是单片机，所述MCU或是单片机上连接有外连通讯组件。

7.根据权利要求6所述的非接触式高度补偿装置，其特征在于：所述外连通讯组件为I/O接口，或是为4G无线传输模块。

8.根据权利要求1所述的非接触式高度补偿装置，其特征在于：所述数据处理装置上连接有状态指示组件，所述状态指示组件为三色灯。

下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。

免登录下载普通用户下载升级VIP会员，免费下载

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州镭明激光科技有限公司，未经苏州镭明激光科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】

本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201822205860.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。