[实用新型]一种非接触式平面度测量装置

说明书

本实用新型公开了一种非接触式平面度测量装置，包括底座及设置在底座上的载物台，载物台通过横向滑移结构进行横向移动，还包括依次设置在载物台上方的色散镜头和光纤头，光纤头通过光纤连接光源，光纤头通过光纤连接光谱接收器和光谱处理设备，此非接触式平面度测量装置及测量方法，将待检测工件放置在载物台，而后打开光源和光纤头，光谱处理设备即可利用反射的光波获得检测数据，通过移动载物台获得多个检测点高度值，光谱处理设备比较数据即可得到平面度，测量操作简单快捷，测量精度高，此实用新型用于镜片检测领域。

技术领域

本实用新型涉及镜片检测领域，特别是涉及一种非接触式平面度测量装置。

背景技术

现有测量平面度的方法主要有：a、接触式传感器测量方法。此方法需要接触到被测量面，且需要一定的压力，对面精度高或材质软的产品容易造成损坏。b、非接触式干涉仪测量方法。此方法精度高，只适用于较高精度的产品，对于平面度不高的产品因干涉条纹的密集而无法分辨，致难以测量；因镜头尺寸的限制，对于大尺寸的产品也难以实现。c、非接触影像式测量方法。此方法根据对被测表面的影像进行对焦测量，因光学系统景深的原因，此测量方法测量精度不高。

目前，尚未有一种可以快速地非接触式地测量各种大小尺寸的产品的平面度测量装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种测量安全性高、测量精度高的非接触式平面度测量装置。

本实用新型所采取的技术方案是：

一种非接触式平面度测量装置，包括底座及设置在底座上的载物台，载物台通过横向滑移结构进行横向移动，还包括依次设置在载物台上方的色散镜头和光纤头，光纤头通过光纤连接光源，光纤头通过光纤连接光谱接收器和光谱处理设备。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，底座上设有竖向的滑轨、与滑轨滑动连接的滑块以及用于驱动滑块的驱动结构，滑块上设有镜头座，色散镜头位于镜头座上。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，滑块包括与滑轨滑动连接的主滑块，还包括横向设置在主滑块上的次滑块，主滑块和次滑块之间设有连接板。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，驱动结构为滚珠丝杠结构。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，光谱处理设备为计算机。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，光纤为Y形光纤。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，光纤为石英光纤。

本实用新型的有益效果：此非接触式平面度测量装置，将待检测工件放置在载物台，而后打开光源和光纤头，光谱处理设备即可利用反射的光波获得检测数据，通过移动载物台获得多个检测点高度值，光谱处理设备比较数据即可得到平面度，测量操作简单快捷，测量精度高。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1是本实用新型实施例的设备原理图；

图2是本实用新型实施例的侧视图；

图3是本实用新型实施例的主视图；

图4是本实用新型实施例的光波原理图；

具体实施方式

参照图1～图4，本实用新型为一种非接触式平面度测量装置，包括底座1及设置在底座1上的载物台2，载物台2通过横向滑移结构进行横向移动，还包括依次设置在载物台2上方的色散镜头3和光纤头4，光纤头4通过光纤6连接光源5，光纤头4通过光纤6连接光谱接收器7和光谱处理设备8。