[实用新型]一种非接触式平面度测量装置

权利要求书

1.一种非接触式平面度测量装置，其特征在于：包括底座及设置在所述底座上的载物台，所述载物台通过横向滑移结构进行横向移动，还包括依次设置在所述载物台上方的色散镜头和光纤头，所述光纤头通过光纤连接光源，所述光纤头通过光纤连接光谱接收器和光谱处理设备。

2.根据权利要求1所述的非接触式平面度测量装置，其特征在于：所述底座上设有竖向的滑轨、与所述滑轨滑动连接的滑块以及用于驱动滑块的驱动结构，所述滑块上设有镜头座，所述色散镜头位于所述镜头座上。

3.根据权利要求2所述的非接触式平面度测量装置，其特征在于：所述滑块包括与滑轨滑动连接的主滑块，还包括横向设置在所述主滑块上的次滑块，所述主滑块和次滑块之间设有连接板。

4.根据权利要求2所述的非接触式平面度测量装置，其特征在于：所述驱动结构为滚珠丝杠结构。

5.根据权利要求1所述的非接触式平面度测量装置，其特征在于：所述光谱处理设备为计算机。

6.根据权利要求1所述的非接触式平面度测量装置，其特征在于：所述光纤为Y形光纤。

7.根据权利要求1所述的非接触式平面度测量装置，其特征在于：所述光纤为石英光纤。