[实用新型]双面定位晶圆划片机

说明书

本实用新型涉及了一种双面定位晶圆划片机，它包括机台底座、位于机台底座顶部的基座、基座上的中空X/Y轴二维平台、中空X/Y轴二维平台内部的下CCD定位组件、安装在中空X/Y轴二维平台的中空位置的中空DD旋转马达、中空DD旋转马达顶部的带真空吸附的玻璃载台、玻璃载台上方的聚焦镜、聚焦镜上方的反射镜、正对反射镜的主工作面处安装的激光光路组件、正对反射镜的副工作面处安装的上CCD定位组件。本实用新型的一种双面定位晶圆划片机，通过单台设备上下CCD集成与一体的设计，使得玻璃载台上的晶圆产品能够实现双面定位识别，实时监测切割道和定位槽的切割重合度，提高产品划线的良率；降低了企业投入成本，提高效益。

技术领域

本实用新型涉及激光划片领域，特别是涉及一种双面定位晶圆划片机。

背景技术

目前市场上的晶圆划片机，从划片工艺上分为刀轮机和激光划片机。晶圆片的正面是晶粒和晶粒沟槽，背面有做对位蚀刻线槽和不做对位蚀刻线槽两种。划片就是要在晶粒的背面划，同时保证背面的激光划线要延晶片正面的晶粒沟槽中心方向划。目前市场上的晶圆激光划片机，定位方式有定位背面有做对位蚀刻线槽的，CCD影像识别定位系统安装在载台上面；也有定位背面不做对位蚀刻线槽，从晶片正面晶粒沟槽定位，CCD影像识别定位系统安装在载台下面。但没有上下CCD集成在一台设备中可以兼容切割上述产品的机型，企业投入成本大，且单CCD机型不能实时监测激光划片的一面与晶粒定位槽面的切割套准情况，划线产品的不良率会增加。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种双面定位晶圆划片机，通过单台设备上下CCD集成与一体的设计，使得玻璃载台上的晶圆产品，能够实现双面定位识别，实时监测切割道和定位槽的切割重合度，提高了产品划线的良率；同时，降低了企业投入成本，减少企业场地使用面积，提高效益。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：双面定位晶圆划片机，它包括机台底座、位于机台底座顶部的基座、安装在基座上的中空X/Y轴二维平台、安装在中空X/Y轴二维平台内部的下CCD定位组件、安装在中空X/Y轴二维平台的中空位置的中空DD旋转马达、安装在中空DD旋转马达顶部的带真空吸附的玻璃载台、安装在玻璃载台上方的聚焦镜、安装在聚焦镜上方的反射镜、正对反射镜的主工作面处安装的激光光路组件、正对反射镜的副工作面处安装的上CCD定位组件。

所述基座上位于X/Y二维平台的后方固定有立柱；所述立柱的顶端固定有光学台板；所述上CCD和激光器皆安装在光学台板上。

所述聚焦镜安装在Z轴升降台上；所述Z轴升降台安装在光学台板的底侧。

所述X/Y二维平台是十字叠加式的中空运动平台，其为在X轴上与X轴垂直走向的方向上叠加有Y轴。

所述下CCD定位组件是安装在中空X/Y轴二维平台内部，安装在与X轴垂直走向的Y轴上。

所述X/Y二维平台是十字叠加式的中空运动平台，其为在Y轴上与Y轴垂直走向的方向上叠加有X轴。

所述下CCD定位组件是安装在中空X/Y轴二维平台内部的，安装在与Y轴垂直走向的X轴上。

所述玻璃载台上设置有用于真空吸附的环形吸附槽和吸附圆孔。

所述上CCD定位组件经由反射镜片后透过光学台板底部聚焦镜片形成视觉聚焦，识别玻璃载台上的产品。

所述下CCD定位组件为平躺式，其上设置有带90°反射的镜头，用于减少安装高度。

所述下CCD定位组件透过中空X/Y轴二维平台和中空DD旋转马达，识别玻璃载台上产品。