[实用新型]双面定位晶圆划片机

权利要求书

1.双面定位晶圆划片机，其特征在于：它包括机台底座、位于机台底座顶部的基座、安装在基座上的中空X/Y轴二维平台、安装在中空X/Y轴二维平台内部的下CCD定位组件、安装在中空X/Y轴二维平台的中空位置的中空DD旋转马达、安装在中空DD旋转马达顶部的带真空吸附的玻璃载台、安装在玻璃载台上方的聚焦镜、安装在聚焦镜上方的反射镜、正对反射镜的主工作面处安装的激光光路组件、正对反射镜的副工作面处安装的上CCD定位组件。

2.根据权利要求1所述的双面定位晶圆划片机，其特征在于：所述基座上位于X/Y二维平台的后方固定有立柱；所述立柱的顶端固定有光学台板；所述上CCD和激光器皆安装在光学台板上。

3.根据权利要求2所述的双面定位晶圆划片机，其特征在于：所述聚焦镜安装在Z轴升降台上；所述Z轴升降台安装在光学台板的底侧。

4.根据权利要求1所述的双面定位晶圆划片机，其特征在于：所述X/Y二维平台是十字叠加式的中空运动平台，其为在X轴上与X轴垂直走向的方向上叠加有Y轴。

5.根据权利要求4所述的双面定位晶圆划片机，其特征在于：所述下CCD定位组件是安装在中空X/Y轴二维平台内部，安装在与X轴垂直走向的Y轴上。

6.根据权利要求4所述的双面定位晶圆划片机，其特征在于：所述X/Y二维平台是十字叠加式的中空运动平台，其为在Y轴上与Y轴垂直走向的方向上叠加有X轴。

7.根据权利要求6所述的双面定位晶圆划片机，其特征在于：所述下CCD定位组件是安装在中空X/Y轴二维平台内部的，安装在与Y轴垂直走向的X轴上。

8.根据权利要求1所述的双面定位晶圆划片机，其特征在于：所述玻璃载台上设置有用于真空吸附的环形吸附槽和吸附圆孔。

9.根据权利要求1所述的双面定位晶圆划片机，其特征在于：所述上CCD定位组件经由反射镜片后透过光学台板底部聚焦镜片形成视觉聚焦，识别玻璃载台上的产品；所述下CCD定位组件透过中空X/Y轴二维平台和中空DD旋转马达，识别玻璃载台上产品。

10.根据权利要求1所述的双面定位晶圆划片机，其特征在于：所述下CCD定位组件为平躺式，其设置有带90°反射的镜头。