[实用新型]一种芯片的扇出型封装结构有效

专利信息
申请号: 201822169472.6 申请日: 2018-12-21
公开(公告)号: CN209418486U 公开(公告)日: 2019-09-20
发明(设计)人: 任玉龙;孙鹏 申请(专利权)人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L23/522
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 李博洋
地址: 214135 江苏省无锡市新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 载片 芯片 第一表面 布线层 扇出型封装 隔离层 通孔 本实用新型 第二表面 工艺窗口 光刻工艺 晶圆翘曲 精度公差 芯片贴装 引线工艺 预设区域 玻璃基 电连接 引脚层 正表面 偏移 互连 硅基 晶圆 正装 制程 连通 覆盖
【权利要求书】:

1.一种芯片的扇出型封装结构,其特征在于,包括:

载片,具有第一表面及与所述第一表面相对立的第二表面,所述第一表面上形成有第一布线层,所述第一表面上的预设区域设置有至少之一正装的芯片;

引线,连接在所述第一布线层和所述芯片的正表面之间;

隔离层,覆盖在所述载片的第一表面与所述芯片上,具有连通至第一布线层的通孔;

引脚层,设置在所述隔离层的表面,通过所述通孔与所述第一布线层电连接。

2.根据权利要求1所述的芯片的扇出型封装结构,其特征在于,所述引脚层包括:第二布线层,所述第二布线层形成在所述隔离层表面,通过所述通孔与所述第一布线层连通。

3.根据权利要求2所述的芯片的扇出型封装结构,其特征在于,所述引脚层还包括:引脚,扇出在所述第二布线层表面。

4.根据权利要求3所述的芯片的扇出型封装结构,其特征在于,所述预设区域上设有至少一个向第二表面延伸的凹槽;

所述芯片贴装在所述凹槽中。

5.根据权利要求4所述的芯片的扇出型封装结构,其特征在于,

所述凹槽的深度不小于所述芯片的厚度。

6.根据权利要求3所述的芯片的扇出型封装结构,其特征在于,所述预设区域与所述第一表面的其他区域在同一平面。

7.根据权利要求5所述的芯片的扇出型封装结构,其特征在于,所述隔离层包括塑封层。

8.根据权利要求7所述的芯片的扇出型封装结构,其特征在于,所述塑封层填充入所述凹槽。

9.根据权利要求8所述的芯片的扇出型封装结构,其特征在于,所述塑封层为光敏性塑封层。

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