[实用新型]一种物理气相沉积设备有效
| 申请号： | 201822155633.6 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN209798087U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 刘雅丽 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 进气管 靶材 镀膜 空腔 体内 物理气相沉积 本实用新型 镀膜技术 空腔连通 膜厚均匀 出气孔 壳体 膜厚 | ||
1.一种物理气相沉积设备，其特征在于，包括：
壳体，所述壳体内设有空腔，所述空腔内设有靶材；
与所述空腔连通的至少一进气管，所述至少一进气管的位于所述空腔内的部分设有朝向所述靶材的多个出气孔。
2.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述多个出气孔等间距间隔设置。
3.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述多个出气孔的孔径沿气体在所述至少一进气管中的流动方向逐渐增大。
4.根据权利要求2或3所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述多个出气孔的孔径范围为1mm-10mm，和/或所述多个出气孔的间距范围为5mm-500mm。
5.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述物理气相沉积设备还包括：混合气管，所述混合气管的第一端与至少两原料气体输入管连通，所述至少一进气管与所述混合气管的第二端连通。
6.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述进气管包括进气段和间隔设置的至少两布气管段，所述进气段汇合所述至少两布气管段，所述至少两布气管段伸入所述空腔内，所述至少两布气管段的位于所述空腔内的部分设有朝向所述靶材的多个出气孔。
7.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述进气管包括进气段和与所述进气段连通的环形布气管段，所述进气段伸入所述空腔内，所述环形布气管段位于所述空腔内，所述环形布气管段设有朝向所述靶材的出气孔。
8.根据权利要求6或7所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述进气段设置于所述壳体的外部或所述壳体上或所述空腔内。
9.根据权利要求6所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述至少两布气管段分别设置于所述靶材的两边。
10.根据权利要求7所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述环形布气管段环绕所述靶材设置。
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