[实用新型]一种高真空冷泵装置

说明书

一种高真空冷泵装置，它包括外壳体组件（1），冷泵内组件（2），隔热套管组件（3），进液管（4），出液管（5），固定支撑（6）和保温层（7），所述冷泵内组件（2）及固定支撑（6）均设置在外壳体组件（1）内部，所述保温层（7）设置在外壳体组件（1）外侧，所述外壳体组件（1）外侧的进液管（4）及出液管（5）外围均套设隔热套管组件（3），当壳体内被抽成一定真空度后，被抽产品（C）的真空度已经很难再提高，此时通过进液管（4）通入液氮，迅速降低壳体内空间的温度，降低了压力，使被抽产品（C）中的残余气体迅速进入壳体，最终被真空泵机组（A）抽走。本装置大大提高了被抽产品的真空度，同时又大幅度缩短了抽真空的时间。

技术领域

本实用新型涉及抽真空技术领域，特别是涉及一种高真空冷泵装置。

背景技术

随着现代科技水平发展，目前抽真空技术在工业、商业等方面的应用范围越来越广。但是，目前的技术而言，当被抽产品被抽成一定的真空度之后，其内部的真空度提高就会变得非常缓慢或者已经达到了真空泵机组的极限，被抽产品的真空度很难提高。

目前公开号为CN104832398B的中国专利，公开了一种抽真空设备，它增加过滤阀，降低气体内部残留物对高压真空泵浦的影响，加入低真空计和高真空计对系统内部进行精确测量，控制设备精度，同时运用多阀门串联方式，保证进气稳定性，选择合适的密封方式，来提高真空系统密封性，从而降低了系统漏气率，提升设备安全性能。但是，它仍然存在上述的技术问题，在被抽产品到达一定真空度后效率缓慢，并且无法进一步提高产品内的真空度。

因此，想要在提高被抽产品内真空度的同时，大幅度缩短抽真空时间，提高抽真空效率，目前的技术显然是无法达到的。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述背景问题中提出的问题，提供一种在提高被抽产品内真空度的同时，大幅度缩短抽真空时间，提高抽真空效率的设备。

本实用新型为实现上述功能所采用的技术方案如下：一种高真空冷泵装置，它包括外壳体组件，冷泵内组件，进液管和出液管；

所述外壳体组件包括冷泵壳体；

所述冷泵内组件设置于冷泵壳体内，所述冷泵内组件与进液管和出液管连通；

所述冷泵内组件包括多个储液包和多段冷盘管，储液包和冷盘管交错连接，相邻两个储液包之间设置有支撑管；

所述冷泵壳体上设置有进气口和出气口；出气口用于连接真空泵机组，进气口用于连接被抽产品。

所述进液管通过三通接头与冷泵内组件进口端的冷盘管连通，所述进液管连接三通接头后分成两根盘管。

所述出液管通过三通接头与冷泵内组件出口端的冷盘管连通，所述出液管连接三通接头后分成两根盘管。

所述进气口为一个或多个。

所述冷泵内组件两侧通过固定支撑固定。

所述出液管与进液管设置于冷泵壳体的同侧。

所述储液包包括筒节，所述筒节左右两侧设置有封头；所述储液包在冷泵壳体内横向设置。

所述外壳体组件的外壁设置有保温层；所述冷泵壳体外侧的进液管及出液管外围均套设有隔热套管组件。

所述隔热套管组件包括由内至外依次设置的内管，中管和外管，所述内管套设在进液管或出液管上，其外侧端面通过连接环Ⅰ密封，所述内管和中管内侧端面通过连接环Ⅱ密封，所述外管和中管外侧端面通过连接环Ⅲ密封。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：