[实用新型]一种高真空冷泵装置有效
| 申请号： | 201822150305.7 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN209261756U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 柳云兴 | 申请（专利权）人： | 江苏深绿新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B39/06 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 隋玲玲 |
| 地址： | 214423 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 外壳体组件 冷泵 进液管 隔热套管 固定支撑 保温层 出液管 高真空 内组件 真空泵机组 残余气体 体内空间 抽真空 壳体 液氮 体内 外围 | ||
1.一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述装置包括外壳体组件（1），冷泵内组件（2），进液管（4）和出液管（5）；
所述外壳体组件（1）包括冷泵壳体（15）；
所述冷泵内组件（2）设置于冷泵壳体（15）内，所述冷泵内组件（2）与进液管（4）和出液管（5）连通；
所述冷泵内组件（2）包括多个储液包（21）和多段冷盘管（24），储液包（21）和冷盘管（24）交错连接，相邻两个储液包（21）之间设置有支撑管（22）；
所述冷泵壳体（15）上设置有进气口（d）和出气口；出气口用于连接真空泵机组，进气口（d）用于连接被抽产品。
2.根据权利要求1所述的一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述进液管（4）通过三通接头与冷泵内组件（2）进口端的冷盘管（24）连通，所述进液管（4）连接三通接头后分成两根盘管。
3.根据权利要求1所述的一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述出液管（5）通过三通接头与冷泵内组件（2）出口端的冷盘管（24）连通，所述出液管（5）连接三通接头后分成两根盘管。
4.根据权利要求1所述的一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述进气口（d）为一个或多个。
5.根据权利要求1所述的一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述冷泵内组件（2）两侧通过固定支撑（6）固定。
6.根据权利要求1所述的一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述出液管（5）与进液管（4）设置于冷泵壳体（15）的同侧。
7.根据权利要求1所述的一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述储液包（21）包括筒节（212），所述筒节（212）左右两侧设置有封头；所述储液包（21）在冷泵壳体（15）内横向设置。
8.根据权利要求1-7之一所述的一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述外壳体组件（1）的外壁设置有保温层（7）；所述冷泵壳体（15）外侧的进液管（4）及出液管（5）外围均套设有隔热套管组件（3）。
9.根据权利要求8所述的一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述隔热套管组件（3）包括由内至外依次设置的内管（32），中管（34）和外管（35），所述内管（32）套设在进液管（4）或出液管（5）上，其外侧端面通过连接环Ⅰ（31）密封，所述内管（32）和中管（34）内侧端面通过连接环Ⅱ（33）密封，所述外管（35）和中管（34）外侧端面通过连接环Ⅲ（36）密封。
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