[实用新型]一种用于晶棒磨削参考面的夹具

说明书

本实用新型提供了一种用于晶棒磨削参考面的夹具，涉及晶片加工技术领域。包括：卡装结构、固定垫块及底座；所述卡装结构固定于所述底座上，所述卡装结构上设置有与所述晶棒形状相匹配的弧形安装部，所述安装部具有开口；所述安装部上设置有所述固定垫块，所述固定垫块通过固定组件与所述底座连接；所述固定垫块上具有用于与所述晶棒接触的弧形安装面。实现与晶棒的面接触，增大了所述固定垫块与所述晶棒的接触面积，有效降低了晶棒的机械损伤。通过移动所述固定组件实现所述固定垫块的移动，可以调整所述固定垫块与所述晶棒之间的距离，实现进一步锁紧或放松。

技术领域

本实用新型涉及晶片加工技术领域，具体而言，涉及一种用于晶棒磨削参考面的夹具。

背景技术

半导体衬底圆形晶片在加工和使用过程中需要通过参考边确定晶片部分参数。晶片的参考边是晶片未切片前在圆柱形晶棒指定方向磨削一个或两个平面，这个平面即为参考面；晶片切片后参考面在每个晶片处形成参考边。在磨削参考面的过程中需要使用晶棒夹具对晶棒进行固定。

现有的夹具如图1所示，在三个方向上采用螺钉对晶棒进行固定，操作繁琐。而且半导体晶体属于脆性材料，用金属螺钉固定会损伤晶棒表面；而选用PP或特氟龙材质螺钉，会增加成本，而且磨削后会在晶棒表面残留螺钉印记。

实用新型内容

为解决现有技术中晶棒夹具固定过程中机械损坏晶棒的技术问题，本实用新型的主要目的在于，提供一种降低晶棒在夹具内固定过程中的接触机械损伤的用于晶棒磨削参考面的夹具。

本实用新型实施例提供了一种用于晶棒磨削参考面的夹具，包括：卡装结构、固定垫块及底座；

所述卡装结构固定于所述底座上，所述卡装结构上设置有与所述晶棒形状相匹配的弧形安装部，所述安装部具有开口；

所述安装部上设置有所述固定垫块，所述固定垫块通过固定组件与所述底座连接，所述固定垫块上具有用于与所述晶棒接触的弧形安装面。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述固定组件包括螺旋定位件，所述螺旋定位件的一端与所述固定垫块相抵，所述螺旋定位件的另一端与所述底座螺旋连接；

通过转动所述螺旋定位件带动所述固定垫块在所述安装部的法向上移动。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述固定组件还包括弹性件，所述弹性件的一端与所述固定垫块固定连接，所述弹性件的另一端与所述底座固定连接。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述卡装结构设置有凹槽，所述固定垫块设置于所述凹槽内。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述固定垫块包括相连接的连接端及连接轴，所述连接端上设置有所述弧形安装面；

所述凹槽包括台阶结构及位于所述台阶结构中央的通槽，所述固定垫块装配于所述凹槽内，且所述连接轴位于所述通槽内；所述螺旋定位件装配于所述通槽内，且与所述连接轴相抵。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述固定垫块设置有多个，多个所述固定垫块沿所述安装部的轴向排列。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述安装部和/或所述固定垫块的安装面上设置有缓冲层。

本实用新型实施例提供的一种用于晶棒磨削参考面的夹具，通过在所述安装部上设置的所述固定垫块实现固定作用，不需设置螺钉，而且所述固定垫块与所述晶棒接触面设置为弧形安装面，实现与晶棒的面接触，增大了所述固定垫块与所述晶棒的接触面积，有效降低了晶棒的机械损伤。通过移动所述固定组件能够实现所述固定垫块的移动，从而调整所述固定垫块与所述晶棒之间的距离，实现进一步锁紧或放松。

附图说明