[实用新型]一种用于晶棒磨削参考面的夹具

权利要求书

1.一种用于晶棒磨削参考面的夹具，其特征在于，包括：卡装结构、固定垫块及底座；

所述卡装结构固定于所述底座上，所述卡装结构上设置有与所述晶棒形状相匹配的弧形安装部，所述安装部具有开口；

所述安装部上设置有所述固定垫块，所述固定垫块通过固定组件与所述底座连接，所述固定垫块上具有用于与所述晶棒接触的弧形安装面。

2.根据权利要求1所述的用于晶棒磨削参考面的夹具，其特征在于，所述固定组件包括螺旋定位件，所述螺旋定位件的一端与所述固定垫块相抵，所述螺旋定位件的另一端与所述底座螺旋连接；

通过转动所述螺旋定位件带动所述固定垫块在所述安装部的法向上移动。

3.根据权利要求2所述的用于晶棒磨削参考面的夹具，其特征在于，所述固定组件还包括弹性件，所述弹性件的一端与所述固定垫块固定连接，所述弹性件的另一端与所述底座固定连接。

4.根据权利要求2所述的用于晶棒磨削参考面的夹具，其特征在于，所述卡装结构设置有凹槽，所述固定垫块设置于所述凹槽内。

5.根据权利要求4所述的用于晶棒磨削参考面的夹具，其特征在于，所述固定垫块包括相连接的连接端及连接轴，所述连接端上设置有所述弧形安装面；

所述凹槽包括台阶结构及位于所述台阶结构中央的通槽，所述固定垫块装配于所述凹槽内，且所述连接轴位于所述通槽内；所述螺旋定位件装配于所述通槽内，且与所述连接轴相抵。

6.根据权利要求1所述的用于晶棒磨削参考面的夹具，其特征在于，所述固定垫块设置有多个，多个所述固定垫块沿所述安装部的轴向排列。

7.根据权利要求1所述的用于晶棒磨削参考面的夹具，其特征在于，所述安装部和/或所述固定垫块的安装面上设置有缓冲层。